К 901 Кулевой, Тимур Вячеславович. Источники пучков ионов твердотельных веществ на основе вакуумно-дугового и пеннинговского разрядов для экстремальных режимов ионной имплантации [Текст] : диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04 / Т. В. Кулевой ; Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники". - Томск : б. и., 2019. - 252 с. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.) Свободны: сбо (1) |