Ф 534 Филлипов, Иван Андреевич. Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов [Текст] : автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.04 / И. А. Филиппов ; Национальный исследовательский Томский университет. - Томск, 2020. - 22 с. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.), счз1 (1 экз.) Свободны: сбо (1), счз1 (1) |