Ф 505 Физические основы электронно-ионно-лучевых и плазменных технологий [Текст] : учебное пособие / Д. Б. Золотухин [и др.] ; рец.: Н. Н. Коваль, М. И. Ломаев ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (ТУСУР) (Томск). - Томск : Издательство ТУСУРа, 2020. - 172 с. : рис., табл. - ISBN 978-5-86889-891-4 : 457.67 р., 248.00 р. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (3 экз.) Свободны: счз1 (1), аунл (3) |