621.382
Д 182


    Данилина, Тамара Ивановна.
    Современные технологии микро- и наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; рец.: В. П. Кривобоков, Е. В. Шестериков ; Минобрнауки России (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2020. - 340 с. : граф., ил., цв. ил., табл. - Библиогр.: с. 334-337. - ISBN 978-5-86889-903-4 : 135.04 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (46 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (26)