Ш 647 Ширяев, Борис Владимирович. Программно-аппаратный комплекс автоматизированного визуального контроля при производстве монолитных интегральных схем [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 2.3.3 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами / Б. В. Ширяев ; науч. рук. Ю. А. Шурыгин. - Томск, 2022. - 16 с. : цв. ил., рис., фот. цв. - Библиогр.: с. 14-16 Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа 
Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.), сбо (1 экз.) Свободны: счз1 (1), сбо (1) |