А 465 Александрова, Ольга Анатольевна Введение в технологию материалов микроэлектроники [Электронный ресурс] : учебник для вузов: в 3-х частях / О. А. Александрова, А. О. Лебедев, Е. В. Мараева. - Электрон. текстовые дан. - СПб. : Лань, 2023. - (Высшее образование). - ISBN 978-5-507-45478-5. Ч. 3 : Эпитаксиальный рост / рец.: И. А. Аверин, А. С. Леньшин. - on-line : рис., табл., граф. - ). - Библиогр.: с. 207-209. - ISBN 978-5-507-45481-5 : Б. ц. Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа ![]() Перейти к внешнему ресурсу https://reader.lanbook.com/book/302363#1 |