Заглавие журнала :Нано-и микросистемная техника -2010г.,N 7 Интересные статьи : Булярский С. В. Гомогенное и гетерогенное формирование кластеров катализаторов для роста углеродных нанотрубок/ С. В. Булярский, А. С. Басаев, В. А. Галперин (стр.2-8) Кл.слова: нанотрубки,кластеры,катализаторы Мустафаев Г. А. Влияние конструкции на характеристики субмикронных КНИ МОП - транзисторов/ Г. А. Мустафаев (стр.8-12) Кл.слова: моделирование,транзисторы,КНИ МОП Мишина Е. Д. Возбуждение колебаний поляризации при прохождении электрического импульса в тонкой сегнетоэлектрической пленке/ Е. Д. Мишина, А. С. Сигов, Е. В. Казанцева (стр.13-15) Кл.слова: пленки,поляризация,импульсы Бабаевский П. Г. Деформационно - прочностные свойства модифицированных полиимид - кремниевых упруго - шарнирных микроструктур/ П. Г. Бабаевский, А. А. Жуков, А. С. Корпухин (стр.15-18) Кл.слова: кремний,нанотрубки,микроструктуры Серегин Д. С. Влияние температуры кристаллизации на электрофизические свойства пленок ЦТС/ Д. С. Серегин (стр.19-22) Кл.слова: пленки,термообработка,кристаллизация Бокарев В. П. Применение контактной литографии в процессах переноса субмикрометрового изображения при изготовлении МЭМС и ПАВ-устройств/ В. П. Бокарев, Е. С. Горнев (стр.23-27) Кл.слова: МЭМС,литография,фоторезисторы Афанасьев М. С. Технология изготовления аккумуляторов водорода на основе углеродных пленок, легированных фтором/ М. С. Афанасьев, А. Ю. Митягин, Г. В. Чучева (стр.27-30) Кл.слова: пленки,аккумуляторы,CVD - метод Штенников В. Н. Методика обеспечения требуемой температуры контактной пайки/ В. Н. Штенников (стр.30-32) Кл.слова: приборы,сборка,пайка Войцеховский А. В. Влияние облучения на характеристики приборов с накоплением заряда/ А. В. Войцеховский, А. П. Коханенко, А. Г. Коротаев (стр.32-37) Кл.слова: приборы,дефекты,накопление заряда Драгунов В. П. Электростатические взаимодействия в МЭМС с плоскопараллельными электродами. Часть I. Расчет емкостей/ В. П. Драгунов, Д. И. Остертак (стр.37-41) Кл.слова: МЭМС,конденсаторы,аналитические выражения Боронахин А. М. Коррекция влияния линейного ускорения на показания микромеханического гироскопа/ А. М. Боронахин, П. А. Иванов, И. Л. Суров (стр.41-44) Кл.слова: гироскопы,навигация,линейное ускорение Михайлов В. П. Системы реологического типа для микро- и нанопозиционирования и виброизоляции/ В. П. Михайлов, А. М. Базиненков, А. С. Кузнецов (стр.45-50) Кл.слова: виброизоляция,вязкость,эластомеры Негров Д. В. Элемент дисплейной матрицы на основе автоэмиссионного катода из терморасширенного графита/ Д. В. Негров, А. С. Лейченко, Е. П. Шешин (стр.50-52) Кл.слова: источники света,электронная оптика,материалы Интересные статьи : Доп.точки доступа: Булярский, С. В. Мустафаев, Г. А. Мишина, Е. Д. Бабаевский, П. Г. Серегин, Д. С. Бокарев, В. П. Афанасьев, М. С. Штенников, В. Н. Войцеховский, А. В. Драгунов, В. П. Боронахин, А. М. Михайлов, В. П. Негров, Д. В. Басаев, А. С. Сигов, А. С. Жуков, А. А. Горнев, Е. С. Митягин, А. Ю. Коханенко, А. П. Остертак, Д. И. Иванов, П. А. Базиненков, А. М. Лейченко, А. С. Галперин, В. А. Казанцева, Е. В. Корпухин, А. С. Чучева, Г. В. Коротаев, А. Г. Суров, И. Л. Кузнецов, А. С. Шешин, Е. П.