Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 77/В 240 Автор(ы) : Боков, Юрий Сергеевич, Корсаков, Владимир Сергеевич, Лаврищев, Вадим Петрович, Лубашевская, Аврора Васильевна Заглавие : Введение в фотолитографию : учебное издание Выходные данные : М.: Энергия, 1977 Колич.характеристики :400 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 379-397 Цена : 01.47 р. УДК : 776 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): учебные издания--фоторезисты--фотошаблоны--голография--адгезия--полимеры--рентгенолитография--тонкопленочные технологии--электронорезисты--изображения Экземпляры : всего 23: аунл(25) Свободны : аунл(4) Доп.точки доступа: Боков, Юрий Сергеевич Корсаков, Владимир Сергеевич Лаврищев, Вадим Петрович Лубашевская, Аврора Васильевна Лаврищев, Вадим Петрович \ред.\