Вид документа : Монографическая серия Шифр издания : 621.373/А 588 Автор(ы) : Альтудов, Юрий Камбулатович, Гарицын, Александр Георгиевич Заглавие : Лазерные микротехнологии и их применения в электронике : научное издание Выходные данные : М.: Радио и связь, 2001 Колич.характеристики :632 с.: ил, табл. Серия: Технология микроэлектроники Примечания : Библиогр.: с. 572-614 ISBN (в пер.), Цена 5-256-01589-3: 323.00, р. УДК : 621.373.826-181.4 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): лазеры--лазерные микротехнологии--электроника--микролитография--осаждение пленок--травление--микроэлектроника--интегральные схемы Экземпляры : всего 1: аунл(2) Свободны : аунл(2) Доп.точки доступа: Гарицын, Александр Георгиевич Валиев, Камиль Ахметович \вступ. ст.\