Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.387/Р957 Автор(ы) : Рычков, Дмитрий Сергеевич Заглавие : Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04 Выходные данные : Томск, 2004 Колич.характеристики :148 с.: ил Коллективы : Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете" Примечания : Библиогр.: с. 137-148 УДК : 621.387.143(043.3) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): диссертации--магнетронный разряд--плазменные магнетроны--моделирование--магнетронные распылительные системы--электроника--источники плазмы--магнетронные диоды--постоянный ток Экземпляры :сбо(1) Свободны : сбо(1) Доп.точки доступа: Кривобоков, Валерий Павлович \науч. рук.\ Государственное научное учреждение "Научно-исследовательский институт ядерной физики при Томском политехническом университете"