Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.5/О-662 Автор(ы) : Орликов, Леонид Николаевич Заглавие : Изучение вакуумтермического метода нанесения проводящих и резистивных покрытий [Электронный ресурс] : методические указания к лабораторной работе Выходные данные : Томск, 2012 Колич.характеристики : on-line ; 22 с Коллективы : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра электронных приборов Вид и объем ресурса: Электрон. текстовые дан. Цена : Б.ц. УДК : 621.52:539.216.2(076) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): нанесение покрытий--токопроводящие покрытия--тонкие пленки--вакуумная техника--лабораторные работы--методические указания Доп.точки доступа: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск) Кафедра электронных приборов