Вид документа : Статья из журнала Шифр издания : Автор(ы) : Тюньков, Андрей Владимирович, Юшков, Юрий Георгиевич Заглавие : Масс-зарядовый состав плазмы, генерируемой в разрядной системе с инжекцией электронов и дополнительным распыляемым электродом Место публикации : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники: периодический научный журнал/ Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск: Издательство ТУСУР, 2013. - N 1(27). - С. 5-9. - ISSN 1818-0442 (Шифр Д301668/2013/1(27)). - ISSN 1818-0442 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): генераторы--покрытия--металлы Доп.точки доступа: Юшков, Юрий Георгиевич