Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.385/О-662 Автор(ы) : Орликов, Леонид Николаевич Заглавие : Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом [Электронный ресурс] : методические указания к лабораторной работе Выходные данные : Б.м., 2013 Колич.характеристики : on-line ; 23 с Коллективы : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск) Вид и объем ресурса: Электрон. текстовые дан. Цена : Б.ц. УДК : 621.385 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): вакуумные технологии--пленочная электроника--ионное распыление--методические указания--лабораторные работы Доп.точки доступа: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)