Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 620.1/П 245 Автор(ы) : Пека, Генриэтта Павловна, Коваленко, Виктор Федорович, Куценко, Виктор Нестерович Заглавие : Люминесцентные методы контроля параметров полупроводниковых материалов и приборов : научное издание Выходные данные : Киев: Технiка, 1986 Колич.характеристики :152 с.: ил. Примечания : Библиогр.: с. 145 - 150 Цена : 0.60 р. УДК : 620.179 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): зонные структуры--деформации--фотоионизация--носители заряда--примеси--дефекты--интегральные схемы Экземпляры : всего 2: счз1(1) Свободны : счз1(1) Доп.точки доступа: Коваленко, Виктор Федорович Куценко, Виктор Нестерович Пека, Генриэтта Павловна \ред.\ |