Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.382/С 47 Автор(ы) : Славникова, Марина Михайловна Заглавие : Физические основы микро- и наноэлектроники [Электронный ресурс] : учебное пособие Выходные данные : Б.м., 2014 Колич.характеристики :232 с on-line Коллективы : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск) Вид и объем ресурса: Электрон. текстовые дан. Цена : Б.ц. УДК : 621.382 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--наноэлектроника--учебные пособия Доп.точки доступа: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)