Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 621.315/Б 662 Автор(ы) : Битнер Л. Р. Заглавие : Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур : учебное пособие Выходные данные : Томск: ТУСУР, 2010 Колич.характеристики :49 с.: ил., рис., табл. Коллективы : Минобрнауки России (М.), Российская корпорация нанотехнологий, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники Цена : 25.00, 25.00, р. УДК : 621.315.592:533.9 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): учебные пособия--низкотемпературная плазма--полимеры--травление материалов--плазменное травление--осаждение материалов--тонкие пленки--магнетронное распыление--диэлектрики--физика--химия Экземпляры :счз1(1) Свободны : счз1(1) Доп.точки доступа: Минобрнауки России (М.) Российская корпорация нанотехнологий Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники