Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : А/К 903 Автор(ы) : Кулинич, Иван Владимирович Заглавие : Микроэлектромеханический переключатель для сверхвысокочастотных широкополосных интегральных схем : автореферат ... кандидата технических наук: 05.12.07 Выходные данные : Томск: б. и., 2019 Колич.характеристики :23 с. Коллективы : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск) УДК : 621.318.51 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микрообработка--корпусирование--технология--исследования--электрическая модель--гидродинамика Экземпляры : всего : сбо(1), счз1(1) Свободны : сбо(1), счз1(1) Доп.точки доступа: Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)