Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : А/Ф 534 Автор(ы) : Филлипов, Иван Андреевич Заглавие : Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов : автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.04 Выходные данные : Томск, 2020 Колич.характеристики :22 с. Коллективы : Национальный исследовательский Томский государственный университет (Томск), Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва) УДК : 66.088 + 621.382 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): плазменное травление--транзисторы--узконаправленное излучение--напряжение--травление Экземпляры : всего : сбо(1), счз1(1) Свободны : сбо(1), счз1(1) Доп.точки доступа: Национальный исследовательский Томский государственный университет (Томск) Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва)