Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : А/Ю 851 Автор(ы) : Юрьева, Алена Викторовна Заглавие : Осаждение металлических покрытий с помощью магнетрона с жидкофазной мишенью : автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07 Выходные данные : Томск, 2017 Колич.характеристики :22 с.: рис. Коллективы : Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск), Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск) УДК : 621.793.7 + 544.344.01 Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): теплофизические характеристики--интенсивность эмиссии--магнетрон--температура мишени--самораспыление Экземпляры :сбо(1) Свободны : сбо(1) Доп.точки доступа: Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск) Институт физики прочности и материаловедения СО РАН (Томск)