Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : А/Г 805 Автор(ы) : Гренадёров, Александр Сергеевич Заглавие : Формирование а-С:H:SiOₓ пленок методом плазмохимического осаждения : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника Выходные данные : Томск, 2018 Колич.характеристики :21 с.: рис., табл. Примечания : Библиогр.: с. 19-20 УДК : 546.28(043.3) + 66.088(043.3) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): научные издания--авторефераты--алмазоподобные углероды--трибологические свойства--адгезия--высокочастотное электропитание--вакуумные промежутки--спектры пропускания Экземпляры : всего : счз1(1), сбо(1) Свободны : счз1(1), сбо(1) Доп.точки доступа: Соловьев, Андрей Александрович \науч. рук.\