Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 537/Ч-180 Автор(ы) : Чан Ван Ту Заглавие : Форвакуумный плазменный источник ленточного электронного пучка для пучково-плазменной модификации диэлектриков : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 1.3.5 - Физическая электроника Выходные данные : Томск, 2022 Колич.характеристики :126 с.: граф., рис., табл. Коллективы : ФГБОУ ВО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники Примечания : Библиогр.: с. 113-125 УДК : 537.533.2:621.385.032(043.3) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): научные издания--диссертации--катоды--многоапертурные системы--эмиссии--тлеющие разряды--плотность тока--вакуумные камеры--спектроскопия--полимеры Экземпляры :сбо(1) Свободны : сбо(1) Доп.точки доступа: Климов, Александр Сергеевич \науч. рук.\ ФГБОУ ВО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники