Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : А/Ш 647 Автор(ы) : Ширяев, Борис Владимирович Заглавие : Программно-аппаратный комплекс автоматизированного визуального контроля при производстве монолитных интегральных схем : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 2.3.3 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами Выходные данные : Томск, 2022 Колич.характеристики :16 с.: цв. ил., рис., фот. цв. Примечания : Библиогр.: с. 14-16 УДК : 681.518.5(043.3) + 621.3.049.77(043.3) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): научные издания--авторефераты--автоматизация--технологические процессы--промышленные изделия--дефектоскопия--нейронные сети--полупроводниковые приборы--обработка изображений--аттенюаторы Экземпляры : всего : счз1(1), сбо(1) Свободны : счз1(1), сбо(1) Доп.точки доступа: Шурыгин, Юрий Алексеевич \науч. рук.\