Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : 681.5(043.3)/Ш 647 Автор(ы) : Ширяев, Борис Владимирович Заглавие : Программно-аппаратный комплекс автоматизированного визуального контроля при производстве монолитных интегральных схем : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 2.3.3 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами Выходные данные : Томск, 2022 Колич.характеристики :155 с.: цв. ил., рис., схемы, фот. цв. Коллективы : ФГБОУ ВО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, АО "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов" Примечания : Библиогр.: с. 121-132 УДК : 681.518.5(043.3) + 621.3.049.77(043.3) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): научные издания--диссертации--автоматизация--технологические процессы--промышленные изделия--дефектоскопия--нейронные сети--полупроводниковые приборы--обработка изображений--аттенюаторы Экземпляры :сбо(1) Свободны : сбо(1) Доп.точки доступа: Шурыгин, Юрий Алексеевич \науч. рук.\ ФГБОУ ВО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники АО "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов"