Вид документа : Многотомное издание Шифр издания : 621.3/А 465 Автор(ы) : Александрова, Ольга Анатольевна Заглавие : Введение в технологию материалов микроэлектроники [Электронный ресурс]: учебник для вузов: в 3-х частях/ О. А. Александрова, А. О. Лебедев, Е. В. Мараева. - (Высшее образование). Ч. 1: От минерального сырья к монокристаллу Выходные данные : СПб.: Лань, 2023 - 2023 Колич.характеристики : on-line: рис., табл. Серия: Вид и объем ресурса: Электрон. текстовые дан. Примечания : Библиогр.: с. 166-167 ISBN, Цена 978-5-507-45479-2: Б.ц. УДК : 621.3.049.77(075.8) + 548.55(075.8) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): учебники--кремний--германий--карбид кремния--арсенид галлия--фосфид индия--нитрид алюминия--легирование--зонная плавка--целевая загрузка Доп.точки доступа: Лебедев, Андрей Олегович Мараева, Евгения Владимировна Пронин, И. А. \рец.\