Вид документа : Однотомное издание
Шифр издания : 537/Т 769
Автор(ы) : Троян, Павел Ефимович
Заглавие : Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл - диэлектрик - металл в сильных электрических полях : диссертация ... доктора технических наук: 01.04.04
Выходные данные : Томск, 2005
Колич.характеристики :347 с.: рис.
Коллективы : Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
УДК : 537.226:53.097
Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): микроэлектроника--эмиссионные свойства--процессы формовки--плотность пленки--преобразование каналов--осаждение диэлектрика--научные издания
Экземпляры :сбо(1)
Свободны : сбо(1)
Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)