Вид документа : Однотомное издание Шифр издания : А/П 121 Автор(ы) : Павлов, Александр Александрович Заглавие : Модели и методы синтеза и легирования массивов углеродных нанотрубок для создания изделий кремний - углеродной наноэлектроники : автореферат ... доктора физико-математических наук: 2.2.2 Выходные данные : Москва, 2023 Колич.характеристики :38 с.: табл., рис. Коллективы : Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва) УДК : 620.3:621.389(043.3) + 547.022.1(043.3) Ключевые слова (''Своб.индексиров.''): научные издания--авторефераты--металлоорганические элементы--наночастицы--технологические процессы--гидродинамические модели--катализаторы--реакторы--термодинамические модели Экземпляры :сбо(1) Свободны : сбо(1) Доп.точки доступа: Сауров, А. Н. \науч. кон.\ Булярский, С. В. \науч. кон.\ Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук (Москва)