Библиотека ТУСУРа

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Найдено в других БД:

Основная база библиотеки (79)

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ОСАЖДЕНИЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 79
Показаны документы с 1 по 20

1-20 21-40 41-60 61-79

621.38
Б 662

    Битнер, Л. Р.
    Вакуумная и плазменная электроника : учебное пособие / Л. Р. Битнер ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 150 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 149-150. - 65.02 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38:533.9(075.4)
621.385(075.4)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- вакуумная электроника -- плазменная электроника -- заряженные частицы -- движение заряженных частиц -- электронная эмиссия -- газовые разряды -- плазма -- газоразрядная электроника -- осаждение пленок -- электронные пучки -- электронные пушки -- ионные пучки
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (43 экз.), счз1 (3 экз.)
Свободны: аунл (40), счз1 (3)
Постоянная гиперссылка

А
С 166

    Салтымаков, Максим Сергеевич.
    Импульсное осаждение полупроводниковых плёнок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком : Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07 / М. С. Салтымаков ; науч. рук. Г. Е. Ремнев ; Томский политехнический университет. - Томск, 2010. - 18 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 17-18

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2:533.9:621.384.6.032.266(043.3)
621.793.184(043.3)
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
авторефераты -- тонкие пленки -- полупроводниковые пленки -- GaAs -- InP -- плазма -- абляционная плазма -- импульсные ионные ускорители -- частотно-импульсное воздействие -- ускорители заряженных частиц -- ионные пучки -- пучки частиц -- осаждение пленок
Доп.точки доступа:
Ремнев, Геннадий Ефимович \науч. рук.\
Томский политехнический университет

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.)
Свободны: счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 137-140. - ISBN 5-86889-054-X : 42.00 р., 28.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
621.793:621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
плазменное распыление -- ионно-плазменные технологии -- СБИС -- учебные пособия -- производство -- травление -- тонкие пленки -- ионное осаждение
Доп.точки доступа:
Смирнов, Серафим Всеволодович
Министерство образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (46 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (46), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология СБИС : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 286-287. - 125.52 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микроэлектроника -- технология -- СБИС -- ультрабольшие интегральные микросхемы -- полупроводниковые подложки -- субмикронная литография -- ионное легирование -- термический отжиг -- ионное травление -- плазмохимическое травление -- осаждение пленок -- планаризация рельефа -- межсоединения -- межуровневая разводка
Доп.точки доступа:
Кагадей, В. А.
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (48 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (46), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
Т 384

    Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 ч. / ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2.
   Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 397 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 397. - ISBN 978-5-94774-336-4 : 242.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИФФУЗИЯ -- ЭПИТАКСИЯ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Чаплыгин, Ю. А. \ред.\
Королев, Михаил Александрович
Крупкина, Татьяна Юрьевна
Ревелева, Марина Александровна

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (2 экз.), аунл (7 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (6)
Постоянная гиперссылка

620.3
В 240

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - 2011. - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 2 : Технологические аспекты / М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 252 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 245-248. - ISBN 978-5-9963-0336-6 : 278.30 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
620.3(075.8)
621.382(075.8)
53:54(075.8)
~РУБ 620.3

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ВАКУУМТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ -- МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- НАПРАВЛЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю. Н. \ред.\
Акуленок, Марина Викторовна
Андреев, Владимир Михайлович
Громов, Дмитрий Геннадьевич

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (3 экз.), аунл (42 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (42)
Постоянная гиперссылка

А
У 324

    Уемура, Кензуке.
    Разработка и исследование пучково-плазменных методов повышения эксплуатационных свойств изделий из металлических материалов [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора технических наук. 01.04.07 / К. Уемура ; конс. Г. Е. Ремнев ; NanoCarbon Research Institute Limited, Национальный исследовательский Томский политехнический университет. - Томск : Издательство Томского политехнического университета, 2011. - 26 с. - Библиогр.: с. 24-26

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
669.018(043.3)
533.9(043.3)
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ -- ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ -- АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПЛЕНКИ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ПУЧКОВО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ -- АВТОРЕФЕРАТЫ
Доп.точки доступа:
Ремнев, Геннадий Ефимович \конс.\
NanoCarbon Research Institute Limited
Национальный исследовательский Томский политехнический университет

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.)
Свободны: счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.7
Ч-602

    Чикин, Евгений Владимирович.
    Исследование процессов получения металлических пленок методом электрохимического осаждения [Текст] : руководство к лабораторной работе / Е. В. Чикин ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Томск : [б. и.], 2006. - 21 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 18. - 36.68 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.3:539.216.2(076.5)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ -- ЛАБОРАТОРНЫЕ РАБОТЫ -- ПЛЕНКИ
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга

Имеются экземпляры в отделах: аунл (6 экз.), счз1, РЭТЭМ (1)
Свободны: аунл (6), РЭТЭМ (1)
Постоянная гиперссылка

    Полевой транзистор с субмикронным Т-образным затвором, полученным с использованием пристеночного диэлектрика [Текст] / М. В. Степаненко [и др.] // Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники : периодический научный журнал. - 2014. - N 1(31). - С. 103-105 . - ISSN 1818-0442

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа

Кл.слова (ненормированные):
литография оптическая -- травление плазмохимическое -- осаждение

Доп.точки доступа:
Степаненко, Михаил Валерьевич
Арыков, Вадим Станиславович
Ющенко, Анастасия Михайловна
Плотникова, Александра Юрьевна
Ишуткин, Сергей Владимирович

Полный текст/внешний ресурс (постраничный просмотр) : 2014(31)1 Stepanenko.pdf или скачать

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : сбо (2)
Свободны: сбо (2)

Постоянная гиперссылка

10.

621.38
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с : рис., цв. ил., табл. - Библиогр.: с. 317-318. - ISBN 978-5-86889-713-9 : 190.00 р., 200.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38-022.532:620.3(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МУРА ЗАКОН -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ -- СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ -- ДИЭЛЕКТРИКИ
Доп.точки доступа:
Кагадей, Валерий Алексеевич
Анищенко, Екатерина Валентиновна
Министерство образования и науки Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (2 экз.), аунл (29 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (23)
Постоянная гиперссылка

11.

    Кутков, Илья Викторович.
    Качественный и количественный анализ пленок нитрида кремния методом ИК-спектроскопии [Текст] / И. В. Кутков, М. И. Пехтелев // Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники : периодический научный журнал. - 2014. - N 1(31). - С. 92-94 . - ISSN 1818-0442

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа

Кл.слова (ненормированные):
осаждение -- параметры технологические -- разложение пиков

Доп.точки доступа:
Пехтелев, Михаил Игоревич

Полный текст/внешний ресурс (постраничный просмотр) : 2014(31)1 Kutkov.pdf или скачать

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : сбо (2)
Свободны: сбо (2)

Постоянная гиперссылка

12.

А
Л 594

    Линник, Степан Андреевич.
    Осаждение поликристаллических алмазных пленок в аномальном тлеющем разряде [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07 / С. А. Линник ; науч. рук. Г. Е. Ремнев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск). - Томск : Издательство ТПУ, 2013. - 25 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 24

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2:537.52(043.3)
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
АВТОРЕФЕРАТЫ -- ФИЗИКА КОНДЕНСИРОВАННОГО СОСТОЯНИЯ -- ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ -- ТЛЕЮЩИЕ РАЗРЯДЫ -- ПЛАЗМА
Доп.точки доступа:
Ремнев, Геннадий Ефимович \науч. рук.\
Национальный исследовательский Томский политехнический университет (Томск)

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.)
Свободны: счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

13.

    Котин, Антон Сергеевич.
    Моделирование и исследование просветляющих покрытий на кристаллах RKTP [Текст] / А. С. Котин, Э. Б. Мурзакматов // Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. Доклады Томского государственного университета систем управления и радиоэлектроники : периодический научный журнал. - 2014. - N 1(31). - С. 88-91 . - ISSN 1818-0442

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа

Кл.слова (ненормированные):
стойкость покрытия -- осаждение покрытий -- ассистирование ионное

Доп.точки доступа:
Мурзакматов, Эрмек Бекжанович

Полный текст/внешний ресурс (постраничный просмотр) : 2014(31)1 Kotin.pdf или скачать

Имеются экземпляры в отделах: всего 2 : сбо (2)
Свободны: сбо (2)

Постоянная гиперссылка

14.

621.7
С506

    Смирнова, К. И.
    Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. / К. И. Смирнова; Науч.рук. Г. А. Воробьев ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск, 1971. - 126 с. : ил, фото. - Библиогр.: с. 117-126. - (в пер.)

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.184:546.28(043.3)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
нитриды кремния -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИССЕРТАЦИИ -- нанесение покрытий -- ионное осаждение -- кремний -- ПЛЕНКИ
Доп.точки доступа:
Воробьев, Григорий Абрамович \науч.рук.\
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.), сбо (1 экз.)
Свободны: аунл (1), сбо (1)
Постоянная гиперссылка

15.

621.373
А 588

    Альтудов, Юрий Камбулатович.
    Лазерные микротехнологии и их применения в электронике : научное издание / Ю. К. Альтудов, А. Г. Гарицын ; вступ. ст. К. А. Валиев. - М. : Радио и связь, 2001. - 632 с. : ил, табл. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.: с. 572-614. - ISBN 5-256-01589-3 (в пер.) : 323.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.373.826-181.4
~РУБ 621.373

Кл.слова (ненормированные):
ЛАЗЕРЫ -- лазерные микротехнологии -- ЭЛЕКТРОНИКА -- микролитография -- осаждение пленок -- травление -- микроэлектроника -- интегральные схемы
Доп.точки доступа:
Гарицын, Александр Георгиевич
Валиев, Камиль Ахметович \вступ. ст.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.), счз1
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

16.

621.382
П781


    Проблемы микроэлектронной технологии : сборник научных трудов / Российская Академия наук, Физико-технологический институт ; Ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1994. - 128 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Гл. ред. К. А. Валиев ; т. 8). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-007030-0 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77:533.915
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микроэлектронные технологии -- низкотемпературная плазма -- травление -- осаждение пленок -- молекулярно-пучковая эпитаксия -- БиКМОП-структура -- СВЧ-плазма -- диэлектрические пленки -- ЭЦР-разряд -- ЭЦР-плазма -- плазмохимическое травление -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Орликовский, А. А. \ред.\
Физико-технологический институт
Российская Академия наук

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

17.

519
Н 76

    Сборник научных трудов НГТУ / Новосибирский государственный технический университет; Ред. А. А. Воевода. - Новосибирск : НГТУ, 1999 - .
   № 2(15) 1999. - Новосибирск : НГТУ, 1999. - 160 с. : ил. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.391
658
531
378.662(571.14)
62.001.57
~РУБ 519

Кл.слова (ненормированные):
моделирование -- схемотехническое моделирование -- механика -- нанесение покрытий -- сбыт -- кулачковые механизмы -- мотивация труда -- обработка данных -- дистанционное зондирование -- электрофоретическое осаждение -- резервированные системы -- сверление -- силовые кабели -- релейная защита -- качество услуг
Доп.точки доступа:
Воевода, А. А. \ред.\
Новосибирский государственный технический университет

Имеются экземпляры в отделах: , сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

18.

678
Ш 430

    Шалкаускас, Мудис Ионо.
    Химическая металлизация пластмасс : научное издание / М. О. Шалкаускас, П.-А. Ю. Вашкялис. - Л. : Химия, 1972. - 167[1] с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
678.5:669
~РУБ 678

Кл.слова (ненормированные):
пластмассы -- металлизация -- химическая металлизация -- осаждение пленок -- металлические покрытия
Доп.точки доступа:
Вашкялис, Повилас-Альгирдас Юозап

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

19.

54
М54


    Металлоорганические соединения в электронике / Г.А. Разуваев, Б.Г. Грибов, Г.А. Домбрачев, Б.А. Саламатин ; Академия наук СССР, Институт химии. - М. : Наука, 1972. - 479 с. : ил. - 3.23 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38
~РУБ 54

Кл.слова (ненормированные):
ФИЗИКО-ХИМИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
Доп.точки доступа:
Разуваев, Г.А.
Грибов, Б.Г.
Домбрачев, Г.А.
Саламатин, Б.А.
Академия наук СССР. Институт химии

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

20.

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технологии кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки РФ, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : В-Спектр, 2011. - 262 с. : ил. - (Образовательная программа переподготовки). - Библиогр.: с. 260-261. - ISBN 978-5-91191-203-1 : 300.00 р., 21.66 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ -- ПАССИВАЦИЯ -- СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛОВ -- ПЛАНАРИЗАЦИЯ РЕЛЬЕФА -- FEOL -- BEOL
Доп.точки доступа:
Кагадей, Валерий Алексеевич
Анищенко, Екатерина Валентиновна
Министерство образования и науки РФ
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (1), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

1-20 21-40 41-60 61-79

Статистика за 22.08.2024
Число запросов	63300
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)