Поисковый запрос: (<.>K=ФОТОРЕЗИСТЫ<.>) |
Общее количество найденных документов : 6
Показаны документы с 1 по 6 |
>1.
| Родионов, Юрий Анатольевич. Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем [Электр.ресурс] : учебное пособие для вузов. - СПб. : Лань
, 2021 on-line (
экз. )
|
>2.
|
Радиомир. - Журнал, 2021г. N 7 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>3.
| Юрков, Николай Кондратьевич. Технология производства электронных средств : учебник. - СПб. : Лань
, 2014. - 475 с. (
2 экз. )
|
>4.
|
Нано-и микросистемная техника. - Журнал, 2013г. N 5 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>5.
| Моро, Уэйн. Микролитография: Принципы, методы, материалы [] : В 2 ч.: Пер. с англ.. Ч. 1. - М. : Мир
, 1990. - 606[2] с. (
4 экз. )
|
>6.
| Введение в фотолитографию : учебное издание. - М. : Энергия
, 1977. - 400 с. (
25 экз. )
|
|