Поисковый запрос: (<.>K=ионное распыление<.>) |
Общее количество найденных документов : 5
Показаны документы с 1 по 5 |
>1.
| Бурдовицын, Виктор Алексеевич. Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1981. - 150 с. (
1 экз. )
|
>2.
| Орликов, Леонид Николаевич. Исследование процесса ионной обработки материалов : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства". - Томск : ТАСУР
, 1994. - 17 с. (
экз. )
|
>3.
| Орликов, Леонид Николаевич. Исследование процесса нанесения пленок магнетронным способом [Электр.ресурс] : методические указания к лабораторной работе
, 2013 on-line ; 23 с (
экз. )
|
>4.
| Орликов, Леонид Николаевич. Исследование устройства для ионно-плазменного распыления материалов : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства". - Томск : ТИАСУР
, 1991. - 18 с. (
экз. )
|
>5.
| Семенов, Александр Петрович. Пучки распыляющих ионов: получение и применение : монография. - Улан-Удэ : БНЦ СО РАН
, 1999. - 208 с. (
4 экз. )
|
|