Поисковый запрос: (<.>K=низкотемпературная плазма<.>) |
Общее количество найденных документов : 21
Показаны документы с 1 по 20 |
|
>1.
| Беркин, Александр Борисович. Исследование индукционного разряда низкого давления как активной среды в технологии получения тонких пленок.Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включая материалы, технологию и спец.оборудование : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Новосибирск
, 1982. - 246 с. (
1 экз. )
|
>2.
| Битнер Л. Р. Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур : учебное пособие. - Томск : ТУСУР
, 2010. - 49 с. (
1 экз. )
|
>3.
| Войценя, Владимир Сергеевич. Воздействие низкотемпературной плазмы и электромагнитного излучения на материалы : научное издание. - М. : Энергоатомиздат
, 1991. - 222[2] с. (
1 экз. )
|
>4.
| Высокотемпературная теплофизика : сборник статей. - М. : Наука
, 1969. - 127 с. (
1 экз. )
|
>5.
| Гиппиус, Андрей Андреевич. Диагностика низкотемпературной плазмы по спектрам ее собственного излучения в СВЧ и субмиллиметровом диапазонах : научное издание. - М. : Энергоиздат
, 1981. - 134 с (
3 экз. )
|
>6.
| Данилин, Борис Степанович. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. - М. : Энергоатомиздат
, 1989. - 328 с. (
1 экз. )
|
>7.
| Зверева, Галина Николаевна. Исследование и оптимизация источников вакуумного ультрафиолетового излучения на основе плазмы инертных газов : Автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук. 01.04.05. - СПб.
, 2010. - 30 с. (
1 экз. )
|
>8.
| Золотухин, Денис Борисович. Параметры и характеристики пучковой плазмы, генерируемой в форвакуумной области давлений электронным источником с плазменным катодом : автореферат диссертации ... кандидата физико-математических наук: 01.04.04. - Томск
, 2016. - 19 с. (
1 экз. )
|
>9.
| Недоспасов, Артур Владимирович. Основы физики процессов в устройствах с низкотемпературной плазмой : научное издание. - М. : Энергоатомиздат
, 1991. - 224 с. (
2 экз. )
|
>10.
| Низкотемпературная плазма [] / Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт теплофизики. Т. 1 : Теория столба электрической дуги. - Новосибирск : Наука
, 1990. - 373[3] с. (
2 экз. )
|
>11.
| Низкотемпературная плазма [] / Российская Академия наук, Сибирское отделение, Институт теплофизики. Т. 6 : ВЧ- и СВЧ- плазмотроны. - Новосибирск : Наука
, 1992. - 317[3] с. (
1 экз. )
|
>12.
| Низкотемпературная плазма [] / Российская Академия наук, Сибирское отделение, Институт теплофизики. Т. 9 : Диагностика низкотемпературной плазмы. - Новосибирск : Наука
, 1994. - 483[5] с. (
2 экз. )
|
>13.
| Окс, Ефим Михайлович. Основы физики низкотемпературной плазмы : Методическое пособие для студ. вузов. - Томск
, 1997. - 87 с. (
23 экз. )
|
>14.
| Очерки физики и химии низкотемпературной плазмы. - М. : Наука
, 1971. - 432, [4] с. (
3 экз. )
|
>15.
| Проблемы микроэлектронной технологии : сборник научных трудов. - М. : Наука
, 1994. - 128 с. (
3 экз. )
|
>16.
|
Радиотехника. - Журнал, 2015г. N 7 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>17.
|
Радиотехника. - Журнал, 2019г. N 10 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>18.
| Энциклопедия низкотемпературной плазмы [] : Энциклопедический словарь: В 5 т. / Ред. В. Е. Фортов; Федеральная целевая программа "Государственная поддержка интеграции высшего образования и фундаментальной науки на 1997-2000 годы", Российская Академия наук, Научный совет по комплексной проблеме "Физика низкотемпературной плазмы". - (Энциклопедическая серия "Энциклопедия низкотемпературной плазмы"). Т. 1 : А - Г : энциклопедия. - М. : Янус-К
, 2004. - 543[1] с. (
1 экз. )
|
>19.
| Энциклопедия низкотемпературной плазмы [] : Энциклопедическая серия / Ред. В. Е. Фортов; Федеральная целевая программа "Государственная поддержка интеграции высшего образования и фундаментальной науки на 1997-2000 годы", Российская Академия наук, Научный совет по комплексной проблеме "Физика низкотемпературной плазмы". Тематический том I -1 : Новые направления и проблемы кинетической теории плазмы : энциклопедия. - М. : Янус-К
, 2001. - 342[2] с. (
1 экз. )
|
>20.
| Энциклопедия низкотемпературной плазмы [] / Российская Академия наук, Научный совет по комплексной проблеме "Физика низкотемпературной плазмы" ; ред. В. Е. Фортов. - (Энциклопедия низкотемпературной плазмы) (Федеральная целевая программа "Интеграция науки и высшего образования России на 2002-2006 годы"). Том III-1 : Термодинамические свойства низкотемпературной плазмы. - М. : Физматлит
, 2005. - 820 с. (
20 экз. )
|
|
|