~РУБ 621.5
Кл.слова (ненормированные): УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ --
ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ --
ТЕЧЕНИЕ ГАЗА --
ДИФФУЗИОННЫЕ НАСОСЫ --
МАСЛА --
ПРИБОРОСТРОЕНИЕ --
ГИГИЕНА ПОМЕЩЕНИЙ --
ГИГИЕНА ПЕРСОНАЛА --
ОЧИСТКА ВОЗДУХА --
ТРАВЛЕНИЕ --
ЭПИТАКСИЯ --
ЛИТОГРАФИЯ --
ПЛАВКА МАТЕРИАЛОВ --
ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА --
НАНОПОРОШКИ
Доп.точки доступа: Гынгазов, С. А. \рец.\
Шандаров, С. М. \рец.\
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники