~РУБ 621.382
Кл.слова (ненормированные): НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ --
ДИССЕРТАЦИИ --
ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА --
ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ --
МЕТАЛЛИЗАЦИЯ --
КОНТАКТНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ --
ПОЛУПРОВОДНИКИ --
ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ --
ФОТОЛИТОГРАФИЯ --
ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Доп.точки доступа: Троян, Павел Ефимович \науч. рук.\
Брудный, Валентин Натанович \науч. конс.\
ФГБОУ ВО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
ФГАОУ ВО "Нацианальный исследовательский Томский государственный университет" (Томск)
АО "Научно-производственная фирма "Микран" (Томск)