УДК	621.315.5/61(076)

~РУБ 621.315

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- методические пособия -- самостоятельные работы -- материалы -- электронная техника -- твердые тела -- тепловые процессы -- диффузия -- газовая динамика -- химическая кинетика -- адсорбция -- жидкостная экстракция -- эпитаксия кремния -- перегонка -- кристаллизация
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники