Библиотека ТУСУРа

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Найдено в других БД:

Основная база библиотеки (7)

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=микротехнологии<.>)

Общее количество найденных документов : 7
Показаны документы с 1 по 7

621.382
С 506

    Смирнова, Клара Ивановна.
    Процессы микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 53 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 53. - 25.62 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(076)
62-181.48(076)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микротехнологии -- нанотехнологии -- методические пособия -- практикумы -- самостоятельные работы
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (41 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (33), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
С 506

    Смирнова, Клара Ивановна.
    Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 183 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 183. - 84.02 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микротехнологии -- нанотехнологии
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (46 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (38), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
С 506

    Смирнова, Клара Ивановна.
    Процессы микро- и нано-технологии : учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2006. - 21 с. : ил. - Библиогр.: с. 13. - 12.42 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002:378.147.85(075.8)
62-181.48:378.147.85(075.8)
378.147.85(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микротехнологии -- нанотехнологии -- методические пособия -- курсовые работы
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (25 экз.), счз1 (3 экз.)
Свободны: аунл (23), счз1 (3)
Постоянная гиперссылка

621.373
А 588

    Альтудов, Юрий Камбулатович.
    Лазерные микротехнологии и их применения в электронике : научное издание / Ю. К. Альтудов, А. Г. Гарицын ; вступ. ст. К. А. Валиев. - М. : Радио и связь, 2001. - 632 с. : ил, табл. - (Технология микроэлектроники). - Библиогр.: с. 572-614. - ISBN 5-256-01589-3 (в пер.) : 323.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.373.826-181.4
~РУБ 621.373

Кл.слова (ненормированные):
ЛАЗЕРЫ -- лазерные микротехнологии -- ЭЛЕКТРОНИКА -- микролитография -- осаждение пленок -- травление -- микроэлектроника -- интегральные схемы
Доп.точки доступа:
Гарицын, Александр Георгиевич
Валиев, Камиль Ахметович \вступ. ст.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.), счз1
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
С89


    Субмикронные технологии / Российская Академия наук, Физико-технологический институт ; ред. В. Н. Репин. - М. : Наука, 1995. - 79 с. - (Труды ФТИАН / Гл.ред.К.А.Валиев ; т.9). - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77-933
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ионная имплантация -- плазменные процессы -- КНИ-структуры -- субмикронные технологии -- микротехнологии -- микроэлектроника
Доп.точки доступа:
Репин, В. Н. \ред.\
Физико-технологический институт
Российская Академия наук

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.)
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

621.3
Б888

    Броудай, Ивор.
    Физические основы микротехнологии : Пер. с англ. / Ивор Броудай, Джулиус Мерей. - М. : Мир, 1985. - 494, [2] с. : ил. - Библиогр.: с. 465-483. -Предм. указ.: с. 484-492. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002
~РУБ 621.3

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- физические основы -- пучки частиц -- тонкие пленки -- литография -- микросхемы -- субмикронная микроскопия -- микрозонды
Доп.точки доступа:
Мерей, Джулиус
Шальнов, А. В. \ред. пер.\
Володин, В. А. \пер.\
Першенков, В. С. \пер.\
Подлепецкий, Б. И. \пер.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (6 экз.), счз1 (3 экз.)
Свободны: аунл (6), счз1 (3)
Постоянная гиперссылка

621.382
Б 900

    Бубенников, Александр Николаевич.
    Моделирование интегральных микротехнологий, приборов и схем : Учебное пособие для вузов / А. Н. Бубенников. - М. : Высшая школа, 1989. - 319, [1] с. : ил. - Библиогр.: с. 315. - Предм. указ.: с. 316-317. - ISBN 5-06-000123-7 : 01.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
моделирование -- интегральные микросхемы -- микротехнологии -- схемы -- учебные пособия

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (35 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (35), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 05.07.2024
Число запросов	244529
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)