Библиотека ТУСУРа

Базы данных

- результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Найдено в других БД:

Основная база библиотеки (4)

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=плазмохимическое травление<.>)

Общее количество найденных документов : 4
Показаны документы с 1 по 4

621.38
Ф503


    Физика и технология материалов электронной техники : Межвузовский сборник научных трудов / Министерство науки, высшей школы и технической политики Российской Федерации, Воронежский политехнический институт ; Ред. И. В. Золотухин. - Воронеж : Воронежский политехнический институт, 1992. - 156 с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-230-04449-7 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38-03
621.315.592
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
плазмохимическое травление -- кинетика -- технология -- материалы электронной техники -- компоненты электронной техники -- физика твердого тела -- импульсный фотонный отжиг -- конденсированные среды -- электронная техника -- физика
Доп.точки доступа:
Золотухин, И. В. \ред.\
Министерство науки, высшей школы и технической политики Российской Федерации
Воронежский политехнический институт

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
П781


    Проблемы микроэлектронной технологии : сборник научных трудов / Российская Академия наук, Физико-технологический институт ; Ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1994. - 128 с. : ил. - (Труды ФТИАН / Гл. ред. К. А. Валиев ; т. 8). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-007030-0 (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77:533.915
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- микроэлектронные технологии -- низкотемпературная плазма -- травление -- осаждение пленок -- молекулярно-пучковая эпитаксия -- БиКМОП-структура -- СВЧ-плазма -- диэлектрические пленки -- ЭЦР-разряд -- ЭЦР-плазма -- плазмохимическое травление -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Орликовский, А. А. \ред.\
Физико-технологический институт
Российская Академия наук

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология СБИС : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 286-287. - 125.52 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микроэлектроника -- технология -- СБИС -- ультрабольшие интегральные микросхемы -- полупроводниковые подложки -- субмикронная литография -- ионное легирование -- термический отжиг -- ионное травление -- плазмохимическое травление -- осаждение пленок -- планаризация рельефа -- межсоединения -- межуровневая разводка
Доп.точки доступа:
Кагадей, В. А.
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (48 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (46), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
К 430

    Киреев, Валерий Юрьевич.
    Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур : научное издание / В. Ю. Киреев, Б. С. Данилин, В. И. Кузнецов. - М. : Радио и связь, 1983. - 126 с. : ил. - (Массовая библиотека инженера "Электроника" ; вып. 36). - Библиогр.: с. 121-125. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002:621.794.4.048
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микросхемы -- интегральные микросхемы -- плазмохимическое травление -- ионно-химическое травление -- травление
Доп.точки доступа:
Данилин, Борис Степанович
Кузнецов, Владимир Иванович

Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.), счз1
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 08.07.2024
Число запросов	83076
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)