Библиотека ТУСУРа

Базы данных

База данных нормативных документов - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

Найдено в других БД:

Основная база библиотеки (1)

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Поисковый запрос: (<.>U=621.38-022.532:620.3(075.8)<.>)

Общее количество найденных документов : 1

621.38
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с : рис., цв. ил., табл. - Библиогр.: с. 317-318. - ISBN 978-5-86889-713-9 : 190.00 р., 200.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38-022.532:620.3(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МУРА ЗАКОН -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ -- СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ -- ДИЭЛЕКТРИКИ
Доп.точки доступа:
Кагадей, Валерий Алексеевич
Анищенко, Екатерина Валентиновна
Министерство образования и науки Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (2 экз.), аунл (29 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (23)
Постоянная гиперссылка

Статистика за 23.08.2024
Число запросов	57906
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)