Поисковый запрос: (<.>K=ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ<.>) |
Общее количество найденных документов : 20
Показаны документы с 1 по 10 |
|
>1.
| Воробьев, Григорий Абрамович. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие. - Томск : Издательство Томского университета
, 1991. - 124 с. (
109 экз. )
|
>2.
| Смирнова К. И. Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук.. - Томск
, 1971. - 126 с. (
2 экз. )
|
>3.
| Мотошкин, Виктор Владимирович. Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1979. - 191 с. (
2 экз. )
|
>4.
| Шандра З. А. Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. - Томск
, 1972. - 184 с. (
1 экз. )
|
>5.
| Щерб С. Ш. Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W-БСС-Si : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11. - Томск
, 1973. - 148 с. (
1 экз. )
|
>6.
| Иванова, Елена Васильевна. Исследование многократного пробоя тонких диэлектрических пленок в МДМ-системе : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1976. - 149 с. (
2 экз. )
|
>7.
| Проблемы микроэлектронной технологии : сборник научных трудов. - М. : Наука
, 1994. - 128 с. (
3 экз. )
|
>8.
| Воробьев, Григорий Абрамович. Пробой тонких диэлектрических пленок : научное издание. - М. : Советское радио
, 1977. - 69[4] с. (
28 экз. )
|
>9.
| Бурдовицын, Виктор Алексеевич. Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1981. - 150 с. (
1 экз. )
|
>10.
| Румак, Николай Владимирович. Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике : научное издание. - Минск : Навука i тэхнiка
, 1990. - 190[2] с. (
4 экз. )
|
|
|