Поисковый запрос: (<.>K=ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ<.>) |
Общее количество найденных документов : 20
Показаны документы с 1 по 10 |
|
1.
| Бурдовицын, Виктор Алексеевич. Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1981. - 150 с. (
1 экз. )
|
2.
| Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2 : Технологические аспекты. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний
, 2011. - 252 с. (
45 экз. )
|
3.
| Воробьев, Григорий Абрамович. Пробой тонких диэлектрических пленок : научное издание. - М. : Советское радио
, 1977. - 69[4] с. (
28 экз. )
|
4.
| Воробьев, Григорий Абрамович. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие. - Томск : Издательство Томского университета
, 1991. - 124 с. (
109 экз. )
|
5.
| Данилина, Тамара Ивановна. Технологические процессы микроэлектроники. Технология ЭВС-1 : учебное пособие. - Томск : ТМЦДО
, 2005. - 223 с. (
9 экз. )
|
6.
| Иванова, Елена Васильевна. Исследование многократного пробоя тонких диэлектрических пленок в МДМ-системе : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1976. - 149 с. (
2 экз. )
|
7.
| Корзо, Виктор Федорович. Диэлектрические пленки в микроэлектронике : научное издание. - М. : Энергия
, 1977. - 366[2] с. (
6 экз. )
|
8.
| Кунин, Вадим Яковлевич. Электропроводность тонких диэлектрических пленок : Учебное пособие. - Л. : ЛПИ
, 1981. - 54[3] с. (
4 экз. )
|
9.
|
Материалы электронной техники. - Журнал. Известия ВУЗов, 2014г. N 3 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
10.
| Мотошкин, Виктор Владимирович. Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1979. - 191 с. (
2 экз. )
|
|
|
|
Основная база библиотеки
Стандартный