Поисковый запрос: (<.>K=ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ<.>) |
Общее количество найденных документов : 20
Показаны документы с 1 по 20 |
>1.
| Бурдовицын, Виктор Алексеевич. Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1981. - 150 с. (
1 экз. )
|
>2.
| Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 2 : Технологические аспекты. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний
, 2011. - 252 с. (
45 экз. )
|
>3.
| Воробьев, Григорий Абрамович. Пробой тонких диэлектрических пленок : научное издание. - М. : Советское радио
, 1977. - 69[4] с. (
28 экз. )
|
>4.
| Воробьев, Григорий Абрамович. Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие. - Томск : Издательство Томского университета
, 1991. - 124 с. (
109 экз. )
|
>5.
| Данилина, Тамара Ивановна. Технологические процессы микроэлектроники. Технология ЭВС-1 : учебное пособие. - Томск : ТМЦДО
, 2005. - 223 с. (
9 экз. )
|
>6.
| Иванова, Елена Васильевна. Исследование многократного пробоя тонких диэлектрических пленок в МДМ-системе : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1976. - 149 с. (
2 экз. )
|
>7.
| Корзо, Виктор Федорович. Диэлектрические пленки в микроэлектронике : научное издание. - М. : Энергия
, 1977. - 366[2] с. (
6 экз. )
|
>8.
| Кунин, Вадим Яковлевич. Электропроводность тонких диэлектрических пленок : Учебное пособие. - Л. : ЛПИ
, 1981. - 54[3] с. (
4 экз. )
|
>9.
|
Материалы электронной техники. - Журнал. Известия ВУЗов, 2014г. N 3 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>10.
| Мотошкин, Виктор Владимирович. Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1979. - 191 с. (
2 экз. )
|
>11.
| Проблемы микроэлектронной технологии : сборник научных трудов. - М. : Наука
, 1994. - 128 с. (
3 экз. )
|
>12.
| Румак, Николай Владимирович. Диэлектрические пленки в твердотельной микроэлектронике : научное издание. - Минск : Навука i тэхнiка
, 1990. - 190[2] с. (
4 экз. )
|
>13.
| Сахаров, Юрий Владимирович. Влияние примеси углерода на формовку и электрофизические параметры МДМ-структур : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04. - Томск
, 2006. - 150[5] с. (
1 экз. )
|
>14.
| Сахаров, Юрий Владимирович. Влияние примеси углерода на формовку и электрофизические параметры МДМ-структур : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04. - Томск
, 2006. - 16 с. (
2 экз. )
|
>15.
| Смирнова К. И. Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук.. - Томск
, 1971. - 126 с. (
2 экз. )
|
>16.
| Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем [] : учебное пособие для вузов: в 2 ч. / ред. Ю. А. Чаплыгин. - (Электроника). Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний
, 2010. - 397 с. (
9 экз. )
|
>17.
| Чикин, Евгений Владимирович. Физико-химические основы технологии электронных средств : методические указания по выполнению тематических рефератов. - Томск
, 2006. - 23 с. (
8 экз. )
|
>18.
| Чопра К. Л. Электрические явления в тонких пленках (Избранные главы из книги Thin film phenomena) : Монография : Пер. с англ.. - М. : Мир
, 1972. - 434[2] с. (
7 экз. )
|
>19.
| Шандра З. А. Исследование реактивно распыленных диэлектрических пленок в МДП-структурах : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. - Томск
, 1972. - 184 с. (
1 экз. )
|
>20.
| Щерб С. Ш. Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W-БСС-Si : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11. - Томск
, 1973. - 148 с. (
1 экз. )
|
|