Поисковый запрос: (<.>K=ОКИСЛЕНИЯ<.>) |
Общее количество найденных документов : 17
Показаны документы с 1 по 17 |
>1.
| Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний
, 2010. - 392 с. (
45 экз. )
|
>2.
| Кокурин, Андрей Дмитриевич. Диффузионное пламя в технологических процессах : научное издание. - Л. : ЛДНТП
, 1984. - 20 с. (
2 экз. )
|
>3.
| Высокотемпературная коррозия и методы защиты от нее : сборник статей. - М. : Наука
, 1973. - 127 с. (
1 экз. )
|
>4.
| Юнусов И. В. Моделирование процесса окисления кремния
//Научная сессия ТУСУР-2007. - Томск : В-Спектр, 2007. Ч. 4. - С.173-175 (
экз. )
|
>5.
| Анохин, Валентин Захарович. Кинетика и механизм термического окисления кремния : научное издание. - Воронеж : Издательство Воронежского университета
, 1983. - 196 с. (
1 экз. )
|
>6.
| Крысина, Ольга Васильевна. Генерация газометаллической плазмы в дуговых разрядах низкого давления для синтеза многокомпонентных нанокристаллических защитных покрытий : автореф. дис. на соиск. ученой степ. канд. технических наук. Спец. 01.04.04 - физическая электроника. - Томск
, 2016. - 19 с (
2 экз. )
|
>7.
| Крысина, Ольга Васильевна. Генерация газометаллической плазмы в дуговых разрядах низкого давления для синтеза многокомпонентных нанокристаллических защитных покрытий : дис. на соиск. ученой степ. канд. технических наук. Спец. 01.04.04 - физическая электроника. - Томск
, 2016. - 192 с (
1 экз. )
|
>8.
|
Физика. - Журнал. Известия ВУЗов, 2020г. N 11 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>9.
|
Нано-и микросистемная техника. - Журнал, 2011г. N 12 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>10.
|
Электроника. - Журнал. Известия ВУЗов, 2010г. N 3 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>11.
|
Электроника. - Журнал. Известия ВУЗов, 2010г. N 2 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>12.
|
Материалы электронной техники. - Журнал. Известия ВУЗов, 2021г. т.24 N 2 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>13.
|
Физика. - Журнал. Известия ВУЗов, 2015г. N 8 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>14.
|
Электроника. - Журнал. Известия ВУЗов, 2016г. т.21 N 5 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>15.
|
Физика. - Журнал. Известия ВУЗов, 2018г. N 8 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>16.
|
Физика. - Журнал. Известия ВУЗов, 2019г. N 12 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
>17.
|
Электроника. - Журнал. Известия ВУЗов, 2012г. N 2 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
|