Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Найдено в других БД:

База данных нормативных документов (4)

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ПЛЕНКИ<.>)

Общее количество найденных документов : 348
Показаны документы с 1 по 20

1-20 21-40 41-60 61-80 81-100 101-120

539.2
В 751

    Воробьев, Григорий Абрамович.
    Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл : монография / Г. А. Воробьев, П. Е. Троян ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 179[1] с. : ил., табл. - (Приоритетные национальные проекты. Образование). - Библиогр.: с. 156-177. - ISBN 978-5-86889-443-5 : 33.15 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2:537.226:537.533.2
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- металл-диэлектрик-металл -- электронные процессы -- электрические характеристики -- электронная эмиссия -- МДМ-катоды -- сквозные токи
Доп.точки доступа:
Троян, Павел Ефимович
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (97 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (97), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
Ж 681

    Жигальский, Александр Анатольевич.
    Проектирование и конструирование интегральных микросхем : учебное пособие / А. А. Жигальский ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 195 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 195. - 101.50 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.001.63(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- интегральные микросхемы -- проектирование -- конструирование -- микроэлектроника -- гибридные микросхемы -- толстые пленки -- биполярные транзисторы -- МДП-транзисторы -- запоминающие устройства -- матричные кристаллы -- защита
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (45 экз.), счз1 (5 экз.)
Свободны: аунл (42), счз1 (5)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 137-140. - ISBN 5-86889-054-X : 42.00 р., 28.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
621.793:621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
плазменное распыление -- ионно-плазменные технологии -- СБИС -- учебные пособия -- производство -- травление -- тонкие пленки -- ионное осаждение
Доп.точки доступа:
Смирнов, Серафим Всеволодович
Министерство образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (46 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (45), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология тонкопленочных микросхем : учебное пособие / Т. И. Данилина ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 151 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 151. - 68.88 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микроэлектроника -- микросхемы -- тонкопленочные интегральные микросхемы -- тонкие пленки -- технология -- интегральные микросхемы
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (44 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (37), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.7
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Молекулярно-лучевая эпитаксия : учебное пособие / Л. Н. Орликов ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТУСУР, 2007. - 107 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 99-100. - 165.76 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.162(075.8)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- молекулярно-лучевая эпитаксия -- эпитаксильные пленки -- вакуумная гигиена -- КАТУНЬ -- контроль качества
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра электронных приборов

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (44 экз.), счз1 (3 экз.), ЭП (1)
Свободны: аунл (44), счз1 (3), ЭП (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология тонкопленочных микросхем : методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Т. И. Данилина, Ю. В. Сахаров ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 63 с. : ил. - Библиогр. в конце разд. - 56.62 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1(076.5)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- методические пособия -- лабораторные работы -- тонкие пленки -- микросхемы -- резистивные пленки -- проводящие пленки -- фотолитография -- тонкопленочные резисторы -- тонкопленочные конденсаторы -- p-n-переходы
Доп.точки доступа:
Сахаров, Ю. В.
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (23 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (22), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
С 506

    Смирнова, Клара Ивановна.
    Тонкие пленки в микроэлектронике : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат) / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 49 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 45. - 22.80 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1(076)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- методические пособия -- практические пособия -- самостоятельные работы -- микроэлектроника -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (45 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (43), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
С 506

    Смирнова, Клара Ивановна.
    Тонкие пленки в микроэлектронике : учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2008. - 25 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 12. - 12.42 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1:378.147.85(075.8)
378.147.85:621.382.049.772.1(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- методические пособия -- курсовые работы -- микроэлектроника -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (25 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (25), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.5
Д 182

    Данилин, Борис Степанович.
    Вакуумная техника в производстве интегральных схем : / Б. С. Данилин ; ред. Р. А. Нилендер. - М. : Энергия, 1972. - 253[3] с. : ил. - Библиогр.: с. 245-254. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.52:539.216.2
621.382.049.77.002
~РУБ 621.5

Кл.слова (ненормированные):
вакуумная техника -- интегральные микросхемы -- производство -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Нилендер, Р. А. \ред.\

Имеются экземпляры в отделах: счз1, аунл (4 экз.)
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

10.

620.3
Ш 655

    Шишкин, Геннадий Георгиевич.
    Наноэлектроника. Элементы, приборы, устройства [Текст] : учебное пособие / Г. Г. Шишкин, И. М. Агеев. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2014. - 408 с. : рис. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 404-406. - ISBN 978-5-9963-0638-1 : 492.00 р., 480.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
620.3(075.8)
621.382(075.8)
~РУБ 620.3

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- КВАНТОВАЯ МЕХАНИКА -- СВЕРХРЕШЕТКИ -- СПИНТРОНИКА -- НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- НАНОЛИТОГРАФИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- КРИОТРОНЫ -- НАНОБИОЭЛЕКТРОНИКА
Доп.точки доступа:
Агеев, Игорь Михайлович

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (1 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (1)
Постоянная гиперссылка

11.

621.382
М 597


    Микроструктурирование тонких пленок : Сборник / Академия наук СССР, Физико-технологический институт ; ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1991. - 110[2] с. : ил. - (Труды ФТИАН / Гл. ред. К. А. Валиев ; т. 2). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-006817-9 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроструктурирование -- тонкие пленки -- микролитография -- интегральные микросхемы -- производство
Доп.точки доступа:
Орликовский, А. А. \ред.\
Академия наук СССР
Физико-технологический институт

Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (4), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

12.

621.382
Р 695

    Романовский, Михаил Николаевич.
    Технологические процессы микроэлектроники : учебное пособие / М. Н. Романовский ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2002. - 190 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 179-180. - 57.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микроэлектроника -- технологические процессы -- интегральные микросхемы -- подложки -- проводящие пленки -- проводники -- полупроводники -- диэлектрики -- литография
Доп.точки доступа:
Министерство образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра конструирования и производства радиоаппаратуры

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

13.

А
С 166

    Салтымаков, Максим Сергеевич.
    Импульсное осаждение полупроводниковых плёнок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком : Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07 / М. С. Салтымаков ; науч. рук. Г. Е. Ремнев ; Томский политехнический университет. - Томск, 2010. - 18 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 17-18

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2:533.9:621.384.6.032.266(043.3)
621.793.184(043.3)
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
авторефераты -- тонкие пленки -- полупроводниковые пленки -- GaAs -- InP -- плазма -- абляционная плазма -- импульсные ионные ускорители -- частотно-импульсное воздействие -- ускорители заряженных частиц -- ионные пучки -- пучки частиц -- осаждение пленок
Доп.точки доступа:
Ремнев, Геннадий Ефимович \науч. рук.\
Томский политехнический университет

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.)
Свободны: счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

14.

621.382
В-751

    Воробьев, Григорий Абрамович.
    Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие / Г. А. Воробьев, Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; ред. З. А. Шандра ; ТИАСУР. - Томск : Издательство Томского университета, 1991. - 124 с. - Библиогр.: с. 119-122. - ISBN 5-7511-0191-Х : 00.70 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- учебные пособия -- металлические пленки -- резистивные пленки -- диэлектрические пленки -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Данилина, Тамара Ивановна
Смирнова, Клара Ивановна
Шандра, З. А. \ред.\
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: аунл (107 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (107), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

15.

621.315
С 221

    Сахаров, Юрий Владимирович.
    Влияние примеси углерода на формовку и электрофизические параметры МДМ-структур : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.04 / Ю. В. Сахаров ; науч. рук. : П. Е. Троян ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск, 2006. - 150[5] с. : ил. - Библиогр.: с. 136-150

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.315.61-034.784(043.3)
~РУБ 621.315

Кл.слова (ненормированные):
диссертации -- электроника -- тонкие пленки -- МДМ структуры -- углерод -- формованные МДМ-системы -- электрическая формовка -- диэлектрические пленки
Доп.точки доступа:
Троян, Павел Ефимович \науч. рук.\
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

16.

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология тонкопленочных микросхем : Учебное пособие / Т. И. Данилина ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТМЦДО, 2006. - 164 с. : ил. - Библиогр.: с. 161. - 49.20 р., 82.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- тонкие пленки -- микросхемы -- тонкопленочные интегральные микросхемы
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (2 экз.), аунл (8 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (8)
Постоянная гиперссылка

17.

539.2
Т 789

    Трусов, Лев Ильич.
    Островковые металлические пленки / Л. И. Трусов, В. А. Холмянский . - М. : Металлургия, 1973. - 321 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 309-321. - 1.89 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
металлические пленки -- физика -- островковые пленки
Доп.точки доступа:
Холмянский , Виктор Антонович

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.)
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

18.

539.2
Ф 503

    Физика тонких пленок. Современное состояние исследований и технические применения : пер. с англ. / ред. Дж. Хасс, ред. М. Х. Франкомб, ред. Р. У. Гофман. - М. : Мир, 1967 - .
   Т. 7 / ред. пер. : В. Б. Сандомирский, А. Г Ждан. - М. : Мир, 1977. - 443[5] с. : ил. - Библиогр. в конце ст. - Предм. указ.: с. 434-439. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
физика -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Хасс, Дж. \ред.\
Франкомб, М. Х. \ред.\
Гофман, Р. У. \ред.\
Сандомирский, В. Б. \ред. пер.\
Ждан, А. Г \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: , счз1, аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

19.

А
А 674

    Анисимов, Олег Викторович.
    Электрические и газочувствительные характеристики полупроводниковых сенсоров на основе тонких пленок SnO₂ : Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.10 / О. В. Анисимов ; науч. рук. : Н. К. Максимова ; Томский государственный университет, Сибирский физико-технический институт. - Томск, 2007. - 19 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 18-19

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
681.586.72´712(043.3)
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
авторефераты -- сенсоры -- резистивные сенсоры -- полупроводниковые сенсоры -- тонкие пленки -- SnO{\dn 2} -- газочувствительность -- электрические характеристики -- химические сенсоры
Доп.точки доступа:
Максимова, Надежда Кузьминична \науч. рук.\
Томский государственный университет
Сибирский физико-технический институт

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.)
Свободны: счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

20.

621.38
Ч-602

    Чикин, Евгений Владимирович.
    Физико-химические основы технологии электронных систем : учебное пособие / Е. В. Чикин ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Томск : ТМЦДО, 2006. - 209 с. : ил. - Библиогр.: с. 208-209. - 62.70 р., 104.50 р., 143.00 р., 120.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ДИСТАНЦИОННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ -- ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТЕЙ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (3 экз.), аунл (61 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (61)
Постоянная гиперссылка

1-20 21-40 41-60 61-80 81-100 101-120

Статистика за 01.07.2024
Число запросов	31163
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)