Поисковый запрос: (<.>K=РАСПЫЛЕНИЕ<.>) |
Общее количество найденных документов : 67
Показаны документы с 1 по 20 |
|
1.
| Джонс В. Д. Основы порошковой металлургии []. Ч. 1 : Производство металлических порошков
, 1964. - 224 с. (
2 экз. )
|
2.
| Плешивцев, Николай Васильевич. Катодное распыление : монография. - М. : Атомиздат
, 1968. - 343[1] с. (
3 экз. )
|
3.
| Гаштольд, Владимир Николаевич. Развитие метода катодного распыления []. - (Обзоры по электронной технике. Микроэлектроника). Вып. 2 (179). - М. : Электроника
, 1970. - 44 с (
1 экз. )
|
4.
| Славников В. С. Исследование закономерностей роста и электрофизических свойств пленок нитрида алюминия и МДМ структур на их основе : дис. на соиск. ученой степ. канд. физ.-мат. наук. - Томск : ТИРиЭТ
, 1971. - 125 с. (
1 экз. )
|
5.
| Розанов, Леонид Николаевич. Вакуумные машины и установки. - Л. : Машиностроение
, 1975. - 336 с (
1 экз. )
|
6.
| Технология тонких пленок [] : справочник: в 2-х т. / ред.: Л. Майссел, Р. Глэнг ; пер. под ред.: М. И. Елинсон, Г. Г. Смолко. Т. 1
, 1977. - 664 с. (
13 экз. )
|
7.
| Технология тонких пленок [] : справочник: в 2-х т. / ред.: Л. Майссел, Р. Глэнг ; пер. под ред.: М. И. Елинсон, Г. Г. Смолко. Т. 2
, 1977. - 768 с. (
15 экз. )
|
8.
| Векслер, Владимир Исаакович. Вторичная ионная эмиссия металлов : научное издание. - М. : Наука
, 1978. - 240 с. (
1 экз. )
|
9.
| Мотошкин, Виктор Владимирович. Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1979. - 191 с. (
2 экз. )
|
10.
| Бурдовицын, Виктор Алексеевич. Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи. - Томск
, 1981. - 150 с. (
1 экз. )
|
11.
| Томашпольский, Юрий Яковлевич. Пленочные сегнетоэлектрики : научное издание. - М. : Радио и связь
, 1984. - 193 с (
1 экз. )
|
12.
| Варденбург, Арнольд Куртович. Электрическая напыленная изоляция : научное издание. - М. : Энергия
, 1984. - 136 с (
1 экз. )
|
13.
| Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Физическое распыление одноэлементных твердых тел : Пер. с англ.. - М. : Мир
, 1984. - 335[1] с. (
2 экз. )
|
14.
| Попов, Владимир Федорович. Процессы и установки электронно-ионной технологии : учебное пособие для вузов. - М. : Высшая школа
, 1988. - 256 с. (
4 экз. )
|
15.
| Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел : Сборник статей: пер. с англ.. - М. : Мир
, 1989. - 349[3] с. (
3 экз. )
|
16.
| Орликов, Леонид Николаевич. Исследование устройства для ионно-плазменного распыления материалов : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства". - Томск : ТИАСУР
, 1991. - 18 с. (
экз. )
|
17.
| Орликов, Леонид Николаевич. Исследование процесса ионной обработки материалов : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства". - Томск : ТАСУР
, 1994. - 17 с. (
экз. )
|
18.
| Семенов, Александр Петрович. Пучки распыляющих ионов: получение и применение : монография. - Улан-Удэ : БНЦ СО РАН
, 1999. - 208 с. (
4 экз. )
|
19.
| Данилина, Тамара Ивановна. Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие. - Томск : Издательство ТУСУР
, 2000. - 140 с. (
47 экз. )
|
20.
| Сборник научных трудов НГТУ [] / ред. А. А. Воевода. Вып. 4(46)'2006 : Автоматическое управление и идентификация. Моделирование процессов и устройств. Современные информационные технологии. Материаловедение. Электроэнергетика, электромеханика и электротехнологии. Социальные проблемы философии. Экономика и менеджмент. Сообщения. - Новосибирск : НГТУ
, 2006. - 160 с. (
1 экз. )
|
|
|
|
Основная база библиотеки
Стандартный