Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Найдено в других БД:

База данных нормативных документов (5)

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=РАСПЫЛЕНИЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 67
Показаны документы с 1 по 20

1-20 21-40 41-60 61-67

621.7
Д 424

   Джонс, В. Д.
    Основы порошковой металлургии [Текст] / В. Д. Джонс. - М. : Мир, 1964 - .
   Ч. 1 : Производство металлических порошков / пер.: М. А. Маурах, Б. С. Лысов ; ред.: М. Ю. Бальшин, А. К. Натансон. - 224 с. : рис., табл. - Пер. с англ. - Библиогр.: с. 207-223. - 00.98 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.7(035.3)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
МОНОГРАФИИ -- СОЕДИНЕНИЯ -- КИНЕТИКА -- ВОССТАНОВЛЕНИЯ -- РЕАКЦИИ -- ЭЛЕКТРОЛИЗ -- ИЗМЕЛЬЧЕНИЕ -- РАСПЫЛЕНИЕ
Доп.точки доступа:
Джонс, В. Д.
Маурах, М. А. \пер.\
Лысов, Б. С. \пер.\
Бальшин, М. Ю. \ред.\
Натансон, А. К. \ред.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.)
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

539.2
П 386

    Плешивцев, Николай Васильевич.
    Катодное распыление : монография / Н. В. Плешивцев. - М. : Атомиздат, 1968. - 343[1] с. : рис., ил., табл. - Библиогр.: с. 297-334. - Предм. указ.: с. 335-341. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.23:621.385.7
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
ЭМИТТИРОВАННЫЕ ЧАСТИЦЫ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- ПОЛИКРИСТАЛЛЫ -- МОНОГРАФИИ

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (2), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.385
Г17

   Гаштольд, Владимир Николаевич
    Развитие метода катодного распыления / В. Н. Гаштольд ; Министерство электронной промышленности СССР (М.). - М. : Электроника, 1970 - . - (Обзоры по электронной технике. Микроэлектроника).
   Вып. 2 (179). - М. : Электроника, 1970. - 44 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.385.032.21
~РУБ 621.385

Кл.слова (ненормированные):
КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Доп.точки доступа:
Министерство электронной промышленности СССР(М.)

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

539.2
С47

    Славников , В. С.
    Исследование закономерностей роста и электрофизических свойств пленок нитрида алюминия и МДМ структур на их основе : дис. на соиск. ученой степ. канд. физ.-мат. наук / В. С. Славников ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт радиоэлектроники и электронной техники. - Томск : ТИРиЭТ, 1971. - 125 с. : ил. - Библиогр.: с. 115-125. - (в пер.)

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2(043.3)
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- полупроводниковая электроника -- пленочная электроника -- диэлектрики -- реактивное распыление -- микроэлектроника -- диссертации -- МДМ структуры
Доп.точки доступа:
Преснов, В. А. \науч. рук.\
Трубицын, Александр Михайлович \науч. рук.\
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Томский институт радиоэлектроники и электронной техники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

621.5
Р 640

    Розанов, Леонид Николаевич.
    Вакуумные машины и установки [Текст] / Л. Розанов. - Л. : Машиностроение, 1975. - 336 с : рис., табл. - Библиогр.: с. 332-334. - 01.19 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.52
~РУБ 621.5

Кл.слова (ненормированные):
ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ -- НАСОСЫ -- ГАЗОВЫДЕЛЕНИЕ -- ОТКАЧКА -- ТОНКИЕ ПЛЁНКИ -- ИСПАРИТЕЛИ -- НАПЫЛИТЕЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ -- РАСПЫЛЕНИЕ -- ЗАТВОРЫ -- ЛОВУШКИ

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

539.2
Т 384

    Технология тонких пленок : справочник: в 2-х т. / ред.: Л. Майссел, Р. Глэнг ; пер. под ред.: М. И. Елинсон, Г. Г. Смолко. - М. : Советское радио, 1977 - .
   Т. 1. - 664 с. : ил. - пер. с англ. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 653-662. - 60.50 р., 50.00 р., 04.02 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2.(035)
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
СПРАВОЧНИКИ -- ВАКУУМНОЕ ИСПАРЕНИЕ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ПОДЛОЖКИ -- КОНДЕНСАЦИЯ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ФЕРРОМАГНИТЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Доп.точки доступа:
Майссел, Леон \ред.\
Глэнг, Р. \ред.\
Елинсон, М. И. \пер. под ред.\
Смолко, Г. Г. \пер. под ред.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (10 экз.), счз1 (3 экз.)
Свободны: аунл (10), счз1 (3)
Постоянная гиперссылка

539.2
Т 384

    Технология тонких пленок : справочник: в 2-х т. / ред.: Л. Майссел, Р. Глэнг ; пер. под ред.: М. И. Елинсон, Г. Г. Смолко. - М. : Советское радио, 1977 - .
   Т. 2. - 768 с. : ил., граф., рис., табл. - Пер. с англ. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 754-764. - (в пер.) : 250.00 р., 04.45 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2(035)
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
СПРАВОЧНИКИ -- ВАКУУМНОЕ ИСПАРЕНИЕ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ПОДЛОЖКИ -- КОНДЕНСАЦИЯ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ФЕРРОМАГНИТЫ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
Доп.точки доступа:
Майссел, Л. \ред.\
Глэнг, Р. \ред.\
Елинсон, М. И. \пер. под ред.\
Смолко, Г. Г. \пер. под ред.\

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (3 экз.), аунл (12 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (12)
Постоянная гиперссылка

537
В 269

    Векслер, Владимир Исаакович.
    Вторичная ионная эмиссия металлов [Текст] : научное издание / В. И. Векслер. - М. : Наука, 1978. - 240 с. : ил. - Библиогр.: с. 227-240. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
537.533.8
~РУБ 537

Кл.слова (ненормированные):
ВОЛНОВЫЕ ФУНКЦИИ -- ПРОВОДИМОСТЬ -- КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ЭЛЕКТРОНЫ

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

621.7
М 855

    Мотошкин, Виктор Владимирович.
    Исследование режимов вакуумно-анодной технологии получения диэлектрических пленок. Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразряд. электроника, включ. материалы, технологию и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи / Виктор Владимирович Мотошкин; Науч.рук. Г. А. Воробьев ; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск : [б. и.], 1979. - 191 с. : ил. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.1(043.3)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
электролитическое анодирование -- газовое анодирование -- катодное распыление -- диссертации -- диэлектрические пленки -- вакуумная электроника -- анодирование
Доп.точки доступа:
Воробьев, Григорий Абрамович \науч.рук.\
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.), сбо (1 экз.)
Свободны: счз1 (1), сбо (1)
Постоянная гиперссылка

10.

621.7
Б 912

    Бурдовицын, Виктор Алексеевич.
    Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд. : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи / В. А. Бурдовицын ; науч. рук. Г. А. Воробьев ; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск : [б. и.], 1981. - 150 с. : ил. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.7(043.3)
~РУБ 621.7

Кл.слова (ненормированные):
ДИССЕРТАЦИИ -- ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- НИТРИД КРЕМНИЯ -- ОКСИНИТРИД КРЕМНИЯ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИКИ
Доп.точки доступа:
Воробьев, Григорий Абрамович \науч. рук.\
Бурдовицин, Виктор Алексеевич
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

11.

621.315
Т 562

    Томашпольский, Юрий Яковлевич.
    Пленочные сегнетоэлектрики [Текст] : научное издание / Ю. Я. Томашпольский. - М. : Радио и связь, 1984. - 193 с : рис., табл. - Библиогр.: с. 185-191. - 02.20 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.315.5:537.226.4
~РУБ 621.315

Кл.слова (ненормированные):
НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ -- МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ -- ВАКУУМНЫЕ КОНДЕНСАТЫ -- МЕХАНИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА -- ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛАВЛЕНИЕ -- СЕДИМЕНТАЦИЯ -- РАСПЫЛЕНИЕ -- СТРУКТУРА -- ЭПИТАКСИЯ -- СВОЙСТВА -- ПРИМЕНЕНИЕ -- ЛИТЬЕ

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

12.

621.315
В 180

    Варденбург, Арнольд Куртович.
    Электрическая напыленная изоляция [Текст] : научное издание / А. К. Варденбург, П. М. Пилипосян. - М. : Энергия, 1984. - 136 с. - Библиогр.: с. 133-136. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.315.616.9:621.793.18
~РУБ 621.315

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛИМЕРНЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ -- РАСПЫЛЕНИЕ
Доп.точки доступа:
Пилипосян, Погос Мкртычевич

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

13.

539.2
Р 243


    Распыление твердых тел ионной бомбардировкой. Физическое распыление одноэлементных твердых тел : Пер. с англ. / ред. : Р. Бериш ; ред. пер. : В. А. Молчанов. - М. : Мир, 1984. - 335[1] с. : ил. - (Проблемы прикладной физики). - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 332-335. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.2:539.1.04
533.9.01
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
твердые тела -- ионная бомбардировка -- ионизирующие излучения -- распыление материалов
Доп.точки доступа:
Бериш, Райнер \ред.\
Молчанов, В. А. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (1), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

14.

621.9
П 580

    Попов, Владимир Федорович.
    Процессы и установки электронно-ионной технологии : учебное пособие для вузов / В. Ф. Попов, Ю. Н. Горин. - М. : Высшая школа, 1988. - 256 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 250-251. - Предм. указ.: с. 252-253. - ISBN 5-06-001480-0 : 15.83 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.9.048.7(075.8)
621.359(075.8)
~РУБ 621.9

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ -- ИОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
Доп.точки доступа:
Горин, Юрий Николаевич

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (4 экз.), счз1
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

15.

533
Ф 947


    Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел : Сборник статей: пер. с англ. / сост., ред. пер. Е. С. Машкова. - М. : Мир, 1989. - 349[3] с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 346-349. - ISBN 5-03-000280-4 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
533.9.01
~РУБ 533

Кл.слова (ненормированные):
твердые тела -- распыление материалов -- фундаментальные аспекты -- прикладные аспекты
Доп.точки доступа:
Машкова, Е. С. \сост., ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

16.

621.38
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование устройства для ионно-плазменного распыления материалов = Ионно-плазменная техника : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТИАСУР, 1991. - 18 с. : ил. - Библиогр.: с. 18. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.793.18(076)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- лабораторные работы -- ионное распыление -- плазменное распыление -- ионно-плазменная обработка -- технология производства
Доп.точки доступа:
Государственный комитет РСФСР по делам науки и высшей школы
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Кафедра электронных приборов

Свободных экз. нет
Постоянная гиперссылка

17.

621.5
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Исследование процесса ионной обработки материалов = Технология и автоматизация производства электронных приборов и устройств : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию, Томская государственная академия систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТАСУР, 1994. - 17 с. : ил. - Библиогр.: с. 17. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.52(076)
~РУБ 621.5

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- ионное распыление -- газоразрядные приборы -- ионная обработка -- лабораторные работы
Доп.точки доступа:
Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию
Томская государственная академия систем управления и радиоэлектроники
Кафедра электронных приборов

Свободных экз. нет
Постоянная гиперссылка

18.

621.384
С302

    Семенов, Александр Петрович.
    Пучки распыляющих ионов: получение и применение : монография / Александр Петрович Семенов ; Российская академия наук. Сибирское отделение, Бурятский научный центр. Отдел физических проблем. - Улан-Удэ : БНЦ СО РАН, 1999. - 208 с. : ил. - Библиогр.: с. 186-206. - ISBN 5-7925-0049-5 (в пер.) : 62.10 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.384.032.266
~РУБ 621.384

Кл.слова (ненормированные):
ИОНЫ -- ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ -- ИОННЫЕ ПУЧКИ -- ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ТЕХНИКА
Доп.точки доступа:
Месяц, Г. А. \ред.\
Российская академия наук. Сибирское отделение
Бурятский научный центр. Отдел физических проблем

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (3), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

19.

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 137-140. - ISBN 5-86889-054-X : 42.00 р., 28.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
621.793:621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
плазменное распыление -- ионно-плазменные технологии -- СБИС -- учебные пособия -- производство -- травление -- тонкие пленки -- ионное осаждение
Доп.точки доступа:
Смирнов, Серафим Всеволодович
Министерство образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (46 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (45), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

20.

681.5
Н 760

Новосибирский государственный технический университет.
    Сборник научных трудов НГТУ / ред. А. А. Воевода. - Новосибирск : НГТУ, 2006 - .
   Вып. 4(46)'2006 : Автоматическое управление и идентификация. Моделирование процессов и устройств. Современные информационные технологии. Материаловедение. Электроэнергетика, электромеханика и электротехнологии. Социальные проблемы философии. Экономика и менеджмент. Сообщения. - Новосибирск : НГТУ, 2006. - 160 с. : ил., табл. - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-7782-0741-7 : 50.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
681.51
004
620.22
621.3
620.22
1
33
~РУБ 681.5

Кл.слова (ненормированные):
автоматическое управление -- идентификация -- моделирование -- электромагнитные поля -- информационные технологии -- обучающие системы -- плазменное распыление -- электроэнергетика -- электромеханика -- электротехнологии -- философия -- экономика -- менеджмент
Доп.точки доступа:
Воевода, А. А. \ред.\
Новосибирский государственный технический университет

Имеются экземпляры в отделах: , сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

1-20 21-40 41-60 61-67

Статистика за 29.06.2024
Число запросов	139422
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)