Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ТОНКИЕ ПЛЕНКИ<.>)

Общее количество найденных документов : 110
Показаны документы с 1 по 20

1-20 21-40 41-60 61-80 81-100 101-110

621.382
В-751

    Воробьев, Григорий Абрамович.
    Тонкие пленки в микроэлектронике : Учебное пособие / Г. А. Воробьев, Т. И. Данилина, К. И. Смирнова ; ред. З. А. Шандра ; ТИАСУР. - Томск : Издательство Томского университета, 1991. - 124 с. - Библиогр.: с. 119-122. - ISBN 5-7511-0191-Х : 00.70 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- учебные пособия -- металлические пленки -- резистивные пленки -- диэлектрические пленки -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Данилина, Тамара Ивановна
Смирнова, Клара Ивановна
Шандра, З. А. \ред.\
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: аунл (107 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (107), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
М 597


    Микроструктурирование тонких пленок : Сборник / Академия наук СССР, Физико-технологический институт ; ред. А. А. Орликовский. - М. : Наука, 1991. - 110[2] с. : ил. - (Труды ФТИАН / Гл. ред. К. А. Валиев ; т. 2). - Библиогр. в конце ст. - ISBN 5-02-006817-9 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроструктурирование -- тонкие пленки -- микролитография -- интегральные микросхемы -- производство
Доп.точки доступа:
Орликовский, А. А. \ред.\
Академия наук СССР
Физико-технологический институт

Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (4), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология тонкопленочных микросхем : учебное пособие / Т. И. Данилина ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 151 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 151. - 68.88 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микроэлектроника -- микросхемы -- тонкопленочные интегральные микросхемы -- тонкие пленки -- технология -- интегральные микросхемы
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (44 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (37), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.5
Д 182

    Данилин, Борис Степанович.
    Вакуумная техника в производстве интегральных схем : / Б. С. Данилин ; ред. Р. А. Нилендер. - М. : Энергия, 1972. - 253[3] с. : ил. - Библиогр.: с. 245-254. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.52:539.216.2
621.382.049.77.002
~РУБ 621.5

Кл.слова (ненормированные):
вакуумная техника -- интегральные микросхемы -- производство -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Нилендер, Р. А. \ред.\

Имеются экземпляры в отделах: счз1, аунл (4 экз.)
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС : Учебное пособие / Т. И. Данилина, С. В. Смирнов ; Министерство образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУР, 2000. - 140 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 137-140. - ISBN 5-86889-054-X : 42.00 р., 28.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
621.793:621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
плазменное распыление -- ионно-плазменные технологии -- СБИС -- учебные пособия -- производство -- травление -- тонкие пленки -- ионное осаждение
Доп.точки доступа:
Смирнов, Серафим Всеволодович
Министерство образования Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (46 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (45), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

621.382
С 506

    Смирнова, Клара Ивановна.
    Тонкие пленки в микроэлектронике : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" и направления 210100 "Электроника и микроэлектроника" (бакалавриат) / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 49 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 45. - 22.80 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1(076)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- методические пособия -- практические пособия -- самостоятельные работы -- микроэлектроника -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (45 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (43), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология тонкопленочных микросхем : методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Т. И. Данилина, Ю. В. Сахаров ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 63 с. : ил. - Библиогр. в конце разд. - 56.62 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1(076.5)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- методические пособия -- лабораторные работы -- тонкие пленки -- микросхемы -- резистивные пленки -- проводящие пленки -- фотолитография -- тонкопленочные резисторы -- тонкопленочные конденсаторы -- p-n-переходы
Доп.точки доступа:
Сахаров, Ю. В.
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (23 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (22), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

539.2
В 751

    Воробьев, Григорий Абрамович.
    Электронные процессы в тонкопленочных структурах металл-диэлектрик-металл : монография / Г. А. Воробьев, П. Е. Троян ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 179[1] с. : ил., табл. - (Приоритетные национальные проекты. Образование). - Библиогр.: с. 156-177. - ISBN 978-5-86889-443-5 : 33.15 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2:537.226:537.533.2
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- металл-диэлектрик-металл -- электронные процессы -- электрические характеристики -- электронная эмиссия -- МДМ-катоды -- сквозные токи
Доп.точки доступа:
Троян, Павел Ефимович
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (97 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (97), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

А
С 166

    Салтымаков, Максим Сергеевич.
    Импульсное осаждение полупроводниковых плёнок GaAs и InP из абляционной плазмы, формируемой мощным ионным пучком : Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 01.04.07 / М. С. Салтымаков ; науч. рук. Г. Е. Ремнев ; Томский политехнический университет. - Томск, 2010. - 18 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 17-18

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2:533.9:621.384.6.032.266(043.3)
621.793.184(043.3)
~РУБ А

Кл.слова (ненормированные):
авторефераты -- тонкие пленки -- полупроводниковые пленки -- GaAs -- InP -- плазма -- абляционная плазма -- импульсные ионные ускорители -- частотно-импульсное воздействие -- ускорители заряженных частиц -- ионные пучки -- пучки частиц -- осаждение пленок
Доп.точки доступа:
Ремнев, Геннадий Ефимович \науч. рук.\
Томский политехнический университет

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (1 экз.)
Свободны: счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

10.

621.382
С 506

    Смирнова, Клара Ивановна.
    Тонкие пленки в микроэлектронике : учебно-методическое пособие по выполнению курсового проекта для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" дистанционной и дневной форм обучения / К. И. Смирнова ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2008. - 25 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 12. - 12.42 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1:378.147.85(075.8)
378.147.85:621.382.049.772.1(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- методические пособия -- курсовые работы -- микроэлектроника -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (25 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (25), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

11.

620.3
Ш 655

    Шишкин, Геннадий Георгиевич.
    Наноэлектроника. Элементы, приборы, устройства [Текст] : учебное пособие / Г. Г. Шишкин, И. М. Агеев. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2014. - 408 с. : рис. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 404-406. - ISBN 978-5-9963-0638-1 : 492.00 р., 480.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
620.3(075.8)
621.382(075.8)
~РУБ 620.3

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- КВАНТОВАЯ МЕХАНИКА -- СВЕРХРЕШЕТКИ -- СПИНТРОНИКА -- НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- НАНОЛИТОГРАФИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ -- КРИОТРОНЫ -- НАНОБИОЭЛЕКТРОНИКА
Доп.точки доступа:
Агеев, Игорь Михайлович

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (1 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (1)
Постоянная гиперссылка

12.

530.1
Ф503


    Физика низкоразмерных систем : Учебное пособие для вузов / Александр Яковлевич Шик, Людмила Германовна Бакуева, Сергей Федорович Мусихин, Сергей Александрович Рыков; Ред. В. И. Ильин, Ред. А. Я. Шик. - СПб. : Наука, 2001. - 160 с. : ил. - (Федеральная целевая программа "Государственная поддержка интеграции высшего образования и фундаментальной науки на 1997-2000 годы") (Новые разделы физики полупроводников). - Библиогр.: с. 150-153. - ISBN 5-02-024966-1 (в пер.) : 32.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
530.145:537.311.322(075.8)
~РУБ 530.1

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- низкоразмерные структуры -- НАНОСТРУКТУРЫ -- квантование -- квантовые ямы -- квантовые нити -- квантовые точки -- наноэлектроника -- полупроводники -- тонкие пленки
Доп.точки доступа:
Шик, Александр Яковлевич
Бакуева, Людмила Германовна
Мусихин, Сергей Федорович
Рыков, Сергей Александрович
Ильин, В. И. \ред.\
Шик, А. Я. \ред.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (5 экз.)
Свободны: аунл (5)
Постоянная гиперссылка

13.

621.384
С302

    Семенов, Александр Петрович.
    Пучки распыляющих ионов: получение и применение : монография / Александр Петрович Семенов ; Российская академия наук. Сибирское отделение, Бурятский научный центр. Отдел физических проблем. - Улан-Удэ : БНЦ СО РАН, 1999. - 208 с. : ил. - Библиогр.: с. 186-206. - ISBN 5-7925-0049-5 (в пер.) : 62.10 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.384.032.266
~РУБ 621.384

Кл.слова (ненормированные):
ИОНЫ -- ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ИОННЫЕ ИСТОЧНИКИ -- ИОННЫЕ ПУЧКИ -- ИОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ -- ГАЗОРАЗРЯДНАЯ ТЕХНИКА
Доп.точки доступа:
Месяц, Г. А. \ред.\
Российская академия наук. Сибирское отделение
Бурятский научный центр. Отдел физических проблем

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (3), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

14.

621.385
Я627

    Янкелевич, Юзеф Бенционович.
    Разработка ненакаливаемых катодов на основе тонкопленочной системы металл-диэлектрик-металл и решение на их основе некоторых задач эмиссионной электроники : Диссертация на соискание ученой степени доктора технических наук. 05.12.10 / Юзеф Бенционович Янкелевич ; Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск, 1978. - 330 с. : ил, фото. - Библиогр.: с. 280-299. - (в пер.)

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.385.032.21:537.533.2(043.3)
~РУБ 621.385

Кл.слова (ненормированные):
катоды -- тонкие пленки -- эмиссионная электроника -- металл-диэлектрик-металл -- диссертации -- ненакаливаемые катоды
Доп.точки доступа:
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

15.

621.382
Щ61

    Щерб, С. Ш.
    Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W-БСС-Si : Диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11 / С. Ш. Щерб; Науч. рук.Э. А. Аринштейн, Науч. рук. В. Г. Столярчук ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск, 1973. - 148 с. : ил, фото. - Библиогр.: с. 130-140. - (в пер.)

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.774.2(043.3)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
МОП-структуры -- пленки боросиликатного стекла -- примесно-силикатные пленки -- окисные пленки -- диссертации -- диэлектрические пленки -- тонкие пленки -- пленки двуокиси кремния
Доп.точки доступа:
Аринштейн Э. А. \науч. рук.\
Столярчук, Валентина Георгиевна \науч. рук.\
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

16.

539.2
С47

    Славников , В. С.
    Исследование закономерностей роста и электрофизических свойств пленок нитрида алюминия и МДМ структур на их основе : дис. на соиск. ученой степ. канд. физ.-мат. наук / В. С. Славников ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт радиоэлектроники и электронной техники. - Томск : ТИРиЭТ, 1971. - 125 с. : ил. - Библиогр.: с. 115-125. - (в пер.)

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2(043.3)
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
тонкие пленки -- полупроводниковая электроника -- пленочная электроника -- диэлектрики -- реактивное распыление -- микроэлектроника -- диссертации -- МДМ структуры
Доп.точки доступа:
Преснов, В. А. \науч. рук.\
Трубицын, Александр Михайлович \науч. рук.\
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР
Томский институт радиоэлектроники и электронной техники

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

17.

621.382
Б948

    Бушминский, Игорь Петрович.
    Технологическое проектирование микросхем СВЧ : Учебное пособие для вузов / Игорь Петрович Бушминский, Георгий Валерьевич Морозов. - М. : МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2001. - 354[4] с. : ил. - Библиогр.: с. 352. - ISBN 5-7038-1687-4 (в пер.) : 150.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.029.64.001.63(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- проектирование -- радиотехника -- тонкие пленки -- подложки -- монтаж -- технология -- микросхемы -- микроэлектроника -- СВЧ
Доп.точки доступа:
Морозов, Георгий Валерьевич

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (1 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (1)
Постоянная гиперссылка

18.

539.2
Д 182

    Данилин, Борис Степанович.
    Вакуумное нанесение тонких пленок / Б. С. Данилин ; ред. Р. А. Нилендер. - М. : Энергия, 1967. - 311[1] с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 304-311. - 1.10 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.216.2
621.523:669.71
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ
Доп.точки доступа:
Нилендер, Р. А. \ред.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (5 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (5), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

19.

621.5
О-662

    Орликов, Леонид Николаевич.
    Изучение вакуумтермического метода нанесения проводящих и резистивных покрытий = Технология и автоматизация производства электронных приборов и устройств : руководство к лабораторной работе для студентов специальности 2004 "Электронные приборы и устройства" / Л. Н. Орликов ; Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию, Томская государственная академия систем управления и радиоэлектроники, Кафедра электронных приборов. - Томск : ТАСУР, 1994. - 26 с. : ил. - Библиогр.: с. 23. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.52:539.216.2(076)
~РУБ 621.5

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- нанесение покрытий -- токопроводящие покрытия -- тонкие пленки -- вакуумная техника -- лабораторные работы
Доп.точки доступа:
Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию
Томская государственная академия систем управления и радиоэлектроники
Кафедра электронных приборов

Свободных экз. нет
Постоянная гиперссылка

20.

621.5
В 148


    Вакуумное оборудование для нанесения тонких пленок : справочное издание / И. Г. Блинов [и др.] ; Министерство электронной промышленности СССР (М.). - М. : Электроника, 1969. - 108 с. : ил. - (Справочные материалы по электронной технике ; вып. 1(7)). - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.52:539.216.2
~РУБ 621.5

Кл.слова (ненормированные):
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- НАНЕСЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК -- СПРАВОЧНИКИ
Доп.точки доступа:
Блинов, Иван Григорьевич
Ельчанинов, Евгений Иванович
Мелехин, Юрий Яковлевич
Панкратов, Лев Михайлович
Министерство электронной промышленности СССР (М.)

Имеются экземпляры в отделах: аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

1-20 21-40 41-60 61-80 81-100 101-110

Статистика за 04.07.2024
Число запросов	253227
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)