~РУБ 621.382
Кл.слова (ненормированные): ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ --
ДИФФУЗИЯ --
ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ --
ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ --
ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ --
ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК --
МЕТАЛЛИЗАЦИИ --
ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА --
ЛИТОГРАФИЯ --
ТРАВЛЕНИЕ --
ЭПИТАКСИЛЬНЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ --
ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ --
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа: Данилина, Тамара Ивановна
Смирнова, Клара Ивановна
Илюшин, Владимир Александрович
Величко, Александр Андреевич
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)