Поисковый запрос: (<.>K=фотолитография<.>) |
Общее количество найденных документов : 22
Показаны документы с 1 по 20 |
|
1.
| Чистоедова, Инна Анатольевна. Современные микро- и нанотехнологии : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника". - Томск : Издательство ТУСУРа
, 2022. - 56 с. (
25 экз. )
|
2.
| Сим, Павел Евгеньевич. Исследование омических контактов НЕМТ транзисторов на основе GaN : диссертация ... кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника. - Томск
, 2018. - 112 с. (
1 экз. )
|
3.
|
Радиомир. - Журнал, 2021г. N 7 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
4.
| Серова, Валентина Николаевна. Фотохимия [Электр.ресурс] : учебное пособие для вузов. - М. : Юрайт
, 2021 on-line (
экз. )
|
5.
| Ультрафиолетовые и вакуумно-ультрафиолетовые эксилампы: физика, техника и применения : монография. - Томск : STT
, 2011. - 512 с. (
1 экз. )
|
6.
|
Нано-и микросистемная техника. - Журнал, 2013г. N 5 (Введено оглавление) (
1 экз. )
|
7.
| Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - (Нанотехнологии). Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний
, 2010. - 392 с. (
45 экз. )
|
8.
| Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем [] : учебное пособие для вузов: в 2 ч. / ред. Ю. А. Чаплыгин. - (Электроника). Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний
, 2010. - 397 с. (
9 экз. )
|
9.
| Чикин, Евгений Владимирович. Физико-химические основы технологии электронных систем [Электр.ресурс] : учебное пособие. - Томск
, 2006 on-line ; 209 с (
экз. )
|
10.
| Николаенко В. С. Метод определения среднего размера частиц по их голограмме : доклад
//Научная сессия ТУСУР-2011. - Томск : В-Спектр. - Ч. 1. - С.295-297 (
экз. )
|
11.
| Данилина, Тамара Ивановна. Технология тонкопленочных микросхем : Методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника". - Томск : ТУСУР
, 2007. - 63 с. (
25 экз. )
|
12.
| Чикин, Евгений Владимирович. Физико-химические основы технологии электронных систем : учебное пособие. - Томск : ТМЦДО
, 2006. - 209 с. (
64 экз. )
|
13.
| Моро, Уэйн. Микролитография: Принципы, методы, материалы [] : В 2 ч.: Пер. с англ.. Ч. 1. - М. : Мир
, 1990. - 606[2] с. (
4 экз. )
|
14.
| Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники [] : Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн.. Кн. 8 : Литографические процессы : учебное пособие. - М. : Высшая школа
, 1990. - 126[2] с. (
9 экз. )
|
15.
| Фотолитография и оптика. - М. : Советское радио
, 1974. - 392 с. (
6 экз. )
|
16.
| Пресс, Феликс Павлович. Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : научное издание. - М. : Советское радио
, 1978. - 94[2] с. (
1 экз. )
|
17.
| Речицкий, Владимир Ильич. Радиокомпоненты на поверхностных акустических волнах. - М. : Радио и связь
, 1984. - 112 с. (
48 экз. )
|
18.
| Готра, Зенон Юрьевич. Технология микроэлектронных устройств : Справочник. - М. : Радио и связь
, 1991. - 528 с. (
43 экз. )
|
19.
| Пресс, Феликс Павлович. Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов. - М. : Энергия
, 1968. - 200 с (
3 экз. )
|
20.
| Валиев, Камиль Ахметович. Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике : научное издание. - М. : Радио и связь
, 1984. - 349, [3] с. (
5 экз. )
|
|
|
|
Основная база библиотеки
Стандартный