Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=фотолитография<.>)

Общее количество найденных документов : 22
Показаны документы с 1 по 20

1-20 21-22

    Николаенко, В. С.
    Метод определения среднего размера частиц по их голограмме [Текст] : доклад / В. С. Николаенко // Научная сессия ТУСУР-2011. - Томск : В-Спектр. - Ч. 1. - С. 295-297 : ил. - Библиогр. в конце ст.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа

Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- картины -- ансамбли частиц

Полный текст/внешний ресурс (постраничный просмотр) : 2011_nikolaenko_010611.pdf или скачать

Постоянная гиперссылка

621.382
Ч-683

    Чистоедова, Инна Анатольевна.
    Современные микро- и нанотехнологии [Текст] : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / И. А. Чистоедова ; рец.: А. В. Мостовщиков, А. П. Коханенко ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2022. - 56 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 50-51. - ISBN 978-5-86889-976-8 : 788.21 р., 788.27 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382-022.532(075.4)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ИЗДАНИЯ -- МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОСОБИЯ -- САМОСТОЯТЕЛЬНЫЕ РАБОТЫ -- СУБМИКРОНЫ -- ПРОЕКЦИОННАЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ -- ГЕТЕРОБИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
Доп.точки доступа:
Мостовщиков, А. В. \рец.\
Коханенко, А. П. \рец.\
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.)
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (24 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (24)
Постоянная гиперссылка

54
С 329

    Серова, Валентина Николаевна.
    Фотохимия [Электронный ресурс] : учебное пособие для вузов / В. Н. Серова ; рец.: А. И. Фишман, В. Ф. Строганов. - Электрон. текстовые дан. - М. : Юрайт, 2021. - on-line : рис., табл., схемы. - (Высшее образование). - Библиогр.: с. 156-157. - ISBN 978-5-534-14022-4 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
544.52(075.8)
~РУБ 54

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- СВЕТ -- ЦВЕТ -- СВЕТОПОГЛОЩЕНИЕ -- ИЗЛУЧАТЕЛЬНЫЕ ПРОЦЕССЫ -- МОЛЕКУЛЫ -- СВЕТОДИОДЫ -- ЛАЗЕРЫ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОХРОМИЗМ -- ФОТОДИССОЦИАЦИЯ

Доп.точки доступа:
Фишман, А. И. \рец.\
Строганов, В. Ф. \рец.\

Перейти к внешнему ресурсу https://urait.ru/viewer/fotohimiya-467478#page/1
Постоянная гиперссылка

Шифр: Р463120/2021/7
Журнал

Радиомир : массовый журнал/ ред. О. Стрыжанкова. - М. : Радиомир Пресс, 1991 - . - Выходит ежемесячно
2021г. N 7 . - 419.39, р.

Содержание:
Горизонты техники. - С.2-5
Кл.слова: коды, интерфейсы, элементы питания
Карпов, Е. ТВЗ жил, жив и будет жить / Е. Карпов. - С.6-10
Кл.слова: каскады, резисторы, усилители
Карпов, Е. Высоковольтный стабилизатор с малым уровнем пульсаций / Е. Карпов. - С.11-13
Кл.слова: шумы, стабилитроны, питание
Ридико, Л. Управляем кулером / Л. Ридико. - С.14-18
Кл.слова: датчики, схема принципиальная, сигналы
Павельчук, А. Таймер курильщика или Просто таймер / А. Павельчук. - С.18-19
Кл.слова: печатные платы, схемы, автоматика
Маньковский, А. Примеры построения устройств автоматики и телемеханики на мультиплексорах-демультиплексорах / А. Маньковский. - С.20-22
Кл.слова: схемы, триггеры, сигналы
Воронков, С. Намоточный станок своими руками / С. Воронков. - С.23-25
Кл.слова: датчики, оптопары, импульсы
Переверзев, Е. Изготовление печатных плат / Е. Переверзев. - С.26-27
Кл.слова: технологии, фоторезисты, фотолитография
Горский, И. Устройство плавного гашения света в салоне автомобиля с тахозависимой подсветкой ручек дверей / И. Горский. - С.28-29
Кл.слова: схемы, микроконтроллеры, гистерезис
Добрусенко, С. Двухканальный DPP аудио усилитель / С. Добрусенко. - С.30-33
Кл.слова: схемотехника, схемы, архитектура
Секториан, А. Модернизация авторского ваттметра на микросхеме ADE7756 / А. Секториан. - С.34-36
Кл.слова: измерения, прошивки, калибровка
Бараночников, М. Простой магнитометр своими руками / М. Бараночников. - С.36-37
Кл.слова: микрофоны, схемы, электромагниты
Браницкий, А. Праздничный нос Деда Мороза и другие несерьезные самоделки / А. Браницкий. - С.38-42
Кл.слова: реле, транзисторы, мультивибраторы
Маньковский, А. Счетчики / А. Маньковский. - С.42-43
Кл.слова: импульсы, схемы, триггеры
Уватенков, И. Согласующее устройство для вертикала 160-30 м / И. Уватенков. - С.44-47
Кл.слова: антенны, связь, катушки
Уватенков, И. Антенна "Delta Loop" на 80 и 40 метров / И. Уватенков. - С.47
Кл.слова: поляризация, угол излучения
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : счз1 (1)
Свободны: счз1 (1)

Постоянная гиперссылка

621.382
С 370

    Сим, Павел Евгеньевич.
    Исследование омических контактов НЕМТ транзисторов на основе GaN [Текст] : диссертация ... кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника / П. Е. Сим ; науч. рук. П. Е. Троян ; науч. конс. В. Н. Брудный ; ФГБОУ ВО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, ФГАОУ ВО "Нацианальный исследовательский Томский государственный университет" (Томск), АО "Научно-производственная фирма "Микран" (Томск). - Томск, 2018. - 112 с. : граф., цв. ил., рис. - Библиогр.: с. 102-110

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.323(043.3)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ -- ДИССЕРТАЦИИ -- ФИЗИЧЕСКАЯ ЭЛЕКТРОНИКА -- ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- КОНТАКТНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
Доп.точки доступа:
Троян, Павел Ефимович \науч. рук.\
Брудный, Валентин Натанович \науч. конс.\
ФГБОУ ВО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
ФГАОУ ВО "Нацианальный исследовательский Томский государственный университет" (Томск)
АО "Научно-производственная фирма "Микран" (Томск)

Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка

Шифр: Н890139/2013/5
Журнал

Нано-и микросистемная техника : междисциплинарный теоретический и прикладной научно-технический журнал/ Российская Академия Наук (М.), Отделение нанотехнологий и информационных технологий. - М. : Новые технологии, 1999 - . - ISSN 1813-8586. - Выходит ежемесячно
2013г. N 5 . - 1554.75, р.

Содержание:
Глухова, О. Е. Эмиссионные свойства бамбукоподобных нанотрубок, допированных калием / О. Е. Глухова, А. С. Колесникова. - С.2-5
Кл.слова: ионизации потенциал, наноэмиттеры, углерод
Коростелев, В. Ф. Исследование влияния давления на кристаллизацию и изменение наноструктуры алюминия / В. Ф. Коростелев, Л. П. Хромова. - С.6-8
Кл.слова: микроскопия, сплавы, нанокристаллы
Латохин, Д. В. Оценка параметров барьеров в нанокристаллических полупроводниковых пленках / Д. В. Латохин, А. В. Коновалов, Э. Н. Воронков. - С.8-11
Кл.слова: полупроводники, кремний, электропроводность
Челпанов, И. Б. Системно-ориентированная обработка результатов испытаний микроэлектронно-механических датчиков скоростей и ускорений / И. Б. Челпанов, А. В. Кочетков. - С.11-15
Кл.слова: приборы, измерения, акселерометры
Воронин, О. Г. Дизайн электродной поверхности с использованием соединений, содержащих аналоги субстратов гидрогеназы, для создания высокоактивных топливных биоэлектрокатализаторов / О. Г. Воронин, Е. В. Конищева, Н. А. Зорин. - С.15-19
Кл.слова: электроды, водород, полимеры
Юзеева, Н. А. Подвижность электронов в структурах с квантовой ямой In_0.52Al_0.48As/In_0.53Ga_0.47As на подложке InP / Н. А. Юзеева. - С.19-22
Кл.слова: транзисторы, рассеяние, диаграммы
Аверин, И. А. Исследование газочувствительности сенсоров на основе наноструктурированных композиционных материалов SiO₂—SnO₂ / И. А. Аверин, И. А. Пронин, А. А. Карманов. - С.23-26
Кл.слова: проводимость, вакансии, фракталы
Мухуров, Н. И. Электростатический микроактюатор с расширенными функциональными возможностями / Н. И. Мухуров. - С.27-30
Кл.слова: конструкции, контакт, спейсеры
Калинин, В. А. Фоторезисты для встречно-штыревых преобразователей систем радиочастотной идентификации на основе акустоэлектронных элементов на поверхностных акустических волнах / В. А. Калинин, В. В. Пинаев, А. В. Макарова. - С.30-33
Кл.слова: фотолитография, пленки, металлизация
Даниличев, С. А. Пьезоэлектрический датчик магнитного поля на основе камертона с биморфными элементами / С. А. Даниличев, С. В. Лебедев, Ю. К. Фетисов. - С.33-35
Кл.слова: пьезоэффект, чувствительность, свинец
Бузановский, В. А. Анализ конструкционных и метрологических характеристик газовых химических наносенсоров с чувствительными элементами на основе полимеров / В. А. Бузановский. - С.36-42
Кл.слова: нанотрубки, измерения, чувствительность
Новиков, С. Г. Активный координатно-чувствительный фотоприемник с комбинированным фотоэффектом / С. Г. Новиков, Н. Т. Гурин, А. В. Беринцев. - С.42-44
Кл.слова: фотопреобразователи, сигналы, координаты
Абрамов, И. И. Мозг — объект органической гибридной наноэлектроники, или взгляд со стороны. Часть III / И. И. Абрамов. - С.45-54
Кл.слова: интерпретация, исследования, механика квантовая
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : сбо (1)
Свободны: сбо (1)

Постоянная гиперссылка

621.384
У 515


    Ультрафиолетовые и вакуумно-ультрафиолетовые эксилампы: физика, техника и применения [Текст] : монография / А. М. Бойченко [и др.] ; рец.: А. В. Козырев, Г. С. Евтушенко ; ред.: С. В. Алексеев, Ю. А. Алексеева ; Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (Томск), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : STT, 2011. - 512 с. : рис., табл. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-93629-4 : 21.70 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.384.3/4:621.387(035.3)
~РУБ 621.384

Кл.слова (ненормированные):
НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ -- МОНОГРАФИИ -- ДИМЕРЫ -- ИНЕРТНЫЕ ГАЗЫ -- БИОТЕХНОЛОГИИ -- ФОТОМЕДИЦИНА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ОПТОЭЛЕКТРОННЫЕ ПРИБОРЫ -- БИНАРНЫЕ СМЕСИ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
Доп.точки доступа:
Бойченко, Александр Михайлович
Ломаев, Михаил Иванович
Панченко, Алексей Николаевич
Соснин, Эдуард Анатольевич
Тарасенко, Виктор Федотович
Козырев, А. В. \рец.\
Евтушенко, Г. С. \рец.\
Алексеев, С. В. \ред.\
Алексеева, Ю. А. \ред.\
Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (Томск)
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.)
Свободны: счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

Шифр: И643213/2010/7
Журнал

Измерительная техника : научно-технический журнал/ Комитет стандартизации и метрологии Российской Федерации (М.), Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (М.), Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д. И. Менделеева (М.), Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений (М.), Всероссийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений (М.), Российский научно-технический центр информации по стандартизации, метрологии и оценке соответствия (М.). - М., 1939 - . - ISSN 0368-1025. - Выходит ежемесячно
2010г. N 7

Содержание:
Фельдман, Г. Г. Генератор временных интервалов на основе эталона Фабри-Перо / Г. Г. Фельдман, А. Б. Берлизов, М. А. Карпов
Кл.слова: лазеры, лазерные пучки, интерферометры
Демченко, А. А. Использование многокадровых электронно-оптических камер для измерения скоростей перемещения / А. А. Демченко, В. Б. Лебедев, Г. Г. Фельдман
Кл.слова: фотографические методы, скорость измерений, погрешности
Абдрахманов, К. Ш. Установка для измерений параметров качества короткоимпульсного лазерного пучка / К. Ш. Абдрахманов, М. В. Улановский
Кл.слова: расходимость, лазерные системы, погрешности
Хлевной, Б. Б. Международные сличения CCPR-S1 единиц спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн 220-2500 нм / Б. Б. Хлевной, В. И. Саприцкий, С. С. Колесникова
Кл.слова: ленточные лампы, радиометрия
Морозова, С. П. Монохроматический источник излучения для калибровки аппаратуры наблюдения Земли по относительной спектральной чувствительности / С. П. Морозова, Б. Е. Лисянский, Н. А. Парфентьев
Кл.слова: излучатели, длина волны, изображения
Аневский, С. И. Разработка и исследование измерительного комплекса энергетической яркости в области вакуумного и ближнего ультрафиолета на основе ПЗС-матриц / С. И. Аневский, Б. С. Волков, И. В. Дробков
Кл.слова: нанолитография, спектрорадиометрия, лазерная плазма
Золотаревский, Ю. М. Использование синхротронного излучения для исследования многослойных наноструктур / Ю. М. Золотаревский, С. И. Аневский, В. С. Иванов
Кл.слова: наноэлектроника, фотолитография, пленки
Минаев, В. Л. Влияние эффекта изменения фазы отраженной волны на измерения формы поверхности в оптической профилометрии / В. Л. Минаев, К. Е. Лощилов
Кл.слова: сканирующий микроскоп, микроскопия, автоматизация
Левин, Г. Г. Определение наноперемещений объекта по оптическому фазовому изображению / Г. Г. Левин, Я. А. Илюшин, В. Л. Минаев
Кл.слова: микроскопия, интерференция, наноперемещение
Глазов, А. И. Метрологическое обеспечение измерений параметров волоконно-оптических систем передачи информации / А. И. Глазов, В. С. Иванов, В. Е. Кравцов
Кл.слова: эталоны, поверочная схема, излучения
Зайцев, Д. Ф. Проблемы метрологического обеспечения измерений параметров оптических сигналов и устройств в радиолокационных системах аналоговой нанофотоники / Д. Ф. Зайцев, В. Н. Крутиков, К. Ю. Сахаров
Кл.слова: антенные решетки, сигналы, приемопередающие модули
Тихомиров, С. В. Эталонный комплекс сверхкоротких электромагнитных импульсов с длительностью фронта 20 пс / С. В. Тихомиров, К. Ю. Сахаров, О. В. Михеев
Кл.слова: преобразователи, передача информации, воспроизведение
Григорьев, В. В. Эталонная аппаратура для средств измерений поляризационной модовой дисперсии в волоконно-оптических системах передачи информации / В. В. Григорьев, В. Е. Кравцов, А. К. Митюрев
Кл.слова: анализаторы, оптический импульс, эталонный измеритель
Сахаров, К. Ю. Исследование неопределенности воспроизведения единиц напряженностей импульсных электрического и магнитного полей в эталонном комплексе сверхкоротких электромагнитных импульсов с длительностью фронта 20 пс / К. Ю. Сахаров, О. В. Михеев, В. А. Туркин
Кл.слова: импульсы, напряжение, генераторы
Маленков, И. В. Применение кристаллофосфоров на основе редкоземельных элементов для определения спектрального разрешения и калибровки шкалы длин волн люминесцентных спектрометров / И. В. Маленков
Кл.слова: люминесценция, кристаллофосфор, спектр возбуждения
Муравская, Н. П. Оптико-физические измерения в химической физике, физической химии и нанохимии / Н. П. Муравская, В. М. Лахов, С. А. Кайдалов
Кл.слова: фотоэлектронные приборы, электровакуумные приборы, спектральные измерения
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : сбо (1)
Свободны: сбо (1)

Постоянная гиперссылка

620.3
В 240

    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 392 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 386-389. - ISBN 978-5-9963-0335-9 : 330.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
620.3(075.8)
621.382(075.8)
53:54
~РУБ 620.3

Кл.слова (ненормированные):
ГЕТЕРОГЕННОЕ ФАЗООБРАЗОВАНИЕ -- РЕАКЦИОННАЯ КОНДЕНСАЦИЯ -- ФИЗИЧЕСКАЯ КОНДЕНСАЦИЯ -- ПРОЦЕССЫ ОКИСЛЕНИЯ -- ДИФФУЗИОННЫЕ ПРОЦЕССЫ -- ЭПИТАКСИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ -- ЭЛЕКТРОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Коркишко, Ю. Н. \ред.\
Чистяков, Юрий Дмитриевич
Райнова, Юлия Петровна

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (3 экз.), аунл (42 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (42)
Постоянная гиперссылка

10.

621.382
Т 384

    Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 ч. / ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2.
   Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 397 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 397. - ISBN 978-5-94774-336-4 : 242.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИФФУЗИЯ -- ЭПИТАКСИЯ -- ЛЕГИРОВАНИЕ -- ЛИТОГРАФИЯ -- МЕТАЛЛИЗАЦИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Чаплыгин, Ю. А. \ред.\
Королев, Михаил Александрович
Крупкина, Татьяна Юрьевна
Ревелева, Марина Александровна

Имеются экземпляры в отделах: счз1 (2 экз.), аунл (7 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (6)
Постоянная гиперссылка

11.

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология тонкопленочных микросхем : методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Т. И. Данилина, Ю. В. Сахаров ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 63 с. : ил. - Библиогр. в конце разд. - 56.62 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.772.1(076.5)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- методические пособия -- лабораторные работы -- тонкие пленки -- микросхемы -- резистивные пленки -- проводящие пленки -- фотолитография -- тонкопленочные резисторы -- тонкопленочные конденсаторы -- p-n-переходы
Доп.точки доступа:
Сахаров, Ю. В.
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (23 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (22), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

12.

621.38
Ч-602

    Чикин, Евгений Владимирович.
    Физико-химические основы технологии электронных систем [Электронный ресурс] : учебное пособие / Е. В. Чикин ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2006. - on-line, 209 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ДИСТАНЦИОННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ -- ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТЕЙ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ

Доп.точки доступа:
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга

Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/1130
Постоянная гиперссылка

13.

621.38
Ч-602

    Чикин, Евгений Владимирович.
    Физико-химические основы технологии электронных систем : учебное пособие / Е. В. Чикин ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Томск : ТМЦДО, 2006. - 209 с. : ил. - Библиогр.: с. 208-209. - 62.70 р., 104.50 р., 143.00 р., 120.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- ДИСТАНЦИОННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ -- ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТЕЙ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ЛИТОГРАФИЯ
Доп.точки доступа:
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (3 экз.), аунл (61 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (61)
Постоянная гиперссылка

14.

621.382
Г 740

    Готра, Зенон Юрьевич.
    Технология микроэлектронных устройств : Справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил, табл. - Библиогр.: с. 526. - ISBN 5-256-00699-1 : 04.00 р., 10.83 р., 21.66 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(035.5)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
СПРАВОЧНИКИ -- ДИФФУЗИИ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- МОНОКРИСТАЛЛЫ -- ОБРАБОТКА КРИСТАЛЛОВ -- ЭПИТАКСИЯ -- ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ -- РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ЛИТОГРАФИЯ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- МИКРОСВАРКА -- ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПОДЛОЖКИ -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (41 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (40), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

15.

621.382
М80

   Моро, Уэйн
    Микролитография: Принципы, методы, материалы : в 2 ч.: Пер. с англ. / У. Моро; Ред. пер. Р. Х. Тимеров. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
   Ч. 1. - М. : Мир, 1990. - 606[2] с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001716-X (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микролитография -- фоторезисты -- радиационные резисты -- резистные пленки -- фотолитография -- радиационное экспонирование
Доп.точки доступа:
Тимеров, Р. Х. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (4 экз.)
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка

16.

621.382
Т384

    Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : учебное пособие для ПТУ: В 10 кн. - М. : Высшая школа, 1990 - .
   Кн. 8 : Литографические процессы : учебное пособие / Валерий Владимирович Мартынов, Татьяна Евгеньевна Базарова. - М. : Высшая школа, 1990. - 126[2] с. : ил. - ISBN 5-06-001080-5 (в пер.) : 00.20 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.359(075.3)
621.382(075.3)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- полупроводниковые приборы -- микроэлектроника -- технология -- литография -- фотолитография -- рентгенолитография -- электронолитография -- ионолитография
Доп.точки доступа:
Мартынов, Валерий Владимирович
Базарова, Татьяна Евгеньевна

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (8 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (8), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

17.

621.382
В 155

    Валиев, Камиль Ахметович.
    Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике : научное издание / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 349, [3] с. : ил. - Библиогр.: с. 338-347. - 02.80 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002:776
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
микроэлектроника -- физические основы -- фотолитография -- субмикронная литография -- микроэлектронные схемы -- интегральные схемы
Доп.точки доступа:
Раков, Александр Васильевич

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (5 экз.), счз1
Свободны: аунл (5)
Постоянная гиперссылка

18.

621.37/39
Р 461

    Речицкий, Владимир Ильич.
    Радиокомпоненты на поверхностных акустических волнах / В. И. Речицкий. - М. : Радио и связь, 1984. - 112 с. : ил. - Библиогр.: с. 112. - (в пер.) : 00.25 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.37/39:534
~РУБ 621.37/39

Кл.слова (ненормированные):
полосковые фильтры -- ПАВ генераторы -- ПАВ датчики -- звукопроводы -- фотолитография -- поверхностные волны -- акустоэлектроника -- радиокомпоненты -- акустические волны -- АРК -- линии задержки

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (47 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (17), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка

19.

621.3
Б825

    Борисенко, Александр Сергеевич.
    Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : учебник для техникумов / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. - М. : Машиностроение, 1983. - 320 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 318-319. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.3.049.77(075)
~РУБ 621.3

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНИКИ -- МИКРОСХЕМЫ -- ТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- ФОТОЛИТОГРАФИЯ -- ПЕЧАТНЫЕ ПЛАТЫ -- ТЕХНОЛОГИИ -- ИЗГОТОВЛЕНИЕ -- ЖГУТЫ
Доп.точки доступа:
Бавыкин, Николай Иванович

Имеются экземпляры в отделах: аунл (5 экз.)
Свободны: аунл (5)
Постоянная гиперссылка

20.

621.382
П734

    Пресс, Феликс Павлович.
    Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : научное издание / Феликс Павлович Пресс. - М. : Советское радио, 1978. - 94[2] с. : ил. - (Массовая библиотека инженера "Электроника" ; 18). - Библиогр.: с. 92-95. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002
621.382.002
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
фотолитография -- полупроводниковые приборы -- интегральные микросхемы -- микросхемы -- производство
Доп.точки доступа:
Пролейко, В. М. \ред.\

Имеются экземпляры в отделах: счз1, аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

1-20 21-22

Статистика за 06.07.2024
Число запросов	131265
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)