Авторизация
 

Базы данных


Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Область поиска
в найденном
Формат представления найденных документов:
полныйдля рабочих программ
Отсортировать найденные документы по:
авторузаглавиюгоду изданиятипу документа
Поисковый запрос: (<.>K=фотолитография<.>)
Общее количество найденных документов : 22
Показаны документы с 1 по 20
 1-20    21-22 
1.
621.382
Д 182


    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология тонкопленочных микросхем : методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника" / Т. И. Данилина, Ю. В. Сахаров ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 63 с. : ил. - Библиогр. в конце разд. - 56.62 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (23 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (22), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка
2.
621.382
Ф81


   
    Фотолитография и оптика / Яков Андреевич Федотов, В. В. Волцит, И. Н. Рубцов; Ред. Я. А. Федотов, Ред. Г. Поль. - М. : Советское радио, 1974. - 392 с. : ил. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: аунл (4 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (4), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка
3.
621.382
П734


    Пресс, Феликс Павлович.
    Фотолитографические методы в технологии полупроводниковых приборов и интегральных микросхем : научное издание / Феликс Павлович Пресс. - М. : Советское радио, 1978. - 94[2] с. : ил. - (Массовая библиотека инженера "Электроника" ; 18). - Библиогр.: с. 92-95. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: счз1, аунл (1 экз.)
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка
4.
621.382
Т384


    Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники : учебное пособие для ПТУ: В 10 кн. - М. : Высшая школа, 1990 - .
   Кн. 8 : Литографические процессы : учебное пособие / Валерий Владимирович Мартынов, Татьяна Евгеньевна Базарова. - М. : Высшая школа, 1990. - 126[2] с. : ил. - ISBN 5-06-001080-5 (в пер.) : 00.20 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (8 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (8), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка
5.
621.38
Ч-602


    Чикин, Евгений Владимирович.
    Физико-химические основы технологии электронных систем : учебное пособие / Е. В. Чикин ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Томск : ТМЦДО, 2006. - 209 с. : ил. - Библиогр.: с. 208-209. - 62.70 р., 104.50 р., 143.00 р., 120.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (3 экз.), аунл (61 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (61)
Постоянная гиперссылка
6.
621.382
М80


   Моро, Уэйн

    Микролитография: Принципы, методы, материалы : в 2 ч.: Пер. с англ. / У. Моро; Ред. пер. Р. Х. Тимеров. - М. : Мир, 1990 - . - ISBN 5-03-001372-5.
   Ч. 1. - М. : Мир, 1990. - 606[2] с. : ил. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 5-03-001716-X (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (4 экз.)
Свободны: аунл (4)
Постоянная гиперссылка
7.
621.382
В 155


    Валиев, Камиль Ахметович.
    Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике : научное издание / К. А. Валиев, А. В. Раков. - М. : Радио и связь, 1984. - 349, [3] с. : ил. - Библиогр.: с. 338-347. - 02.80 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (5 экз.), счз1
Свободны: аунл (5)
Постоянная гиперссылка
8.
621.3
Б825


    Борисенко, Александр Сергеевич.
    Технология и оборудование для производства микроэлектронных устройств : учебник для техникумов / А. С. Борисенко, Н. И. Бавыкин. - М. : Машиностроение, 1983. - 320 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 318-319. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: аунл (5 экз.)
Свободны: аунл (5)
Постоянная гиперссылка
9.
621.383
П73


    Пресс, Феликс Павлович.
    Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов / Ф. П. Пресс. - М. : Энергия, 1968. - 200 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка
10.
621.37/39
Р 461


    Речицкий, Владимир Ильич.
    Радиокомпоненты на поверхностных акустических волнах / В. И. Речицкий. - М. : Радио и связь, 1984. - 112 с. : ил. - Библиогр.: с. 112. - (в пер.) : 00.25 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (47 экз.), счз1 (1 экз.)
Свободны: аунл (17), счз1 (1)
Постоянная гиперссылка
11.
621.382
Г 740


    Готра, Зенон Юрьевич.
    Технология микроэлектронных устройств : Справочник / З. Ю. Готра. - М. : Радио и связь, 1991. - 528 с. : ил, табл. - Библиогр.: с. 526. - ISBN 5-256-00699-1 : 04.00 р., 10.83 р., 21.66 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , аунл (41 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (40), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка
12.
620.3
В 240


    Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 т. / ред. Ю. Н. Коркишко. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Нанотехнологии). - ISBN 978-5-9963-0341-0.
   Т. 1 : Физико-химические основы технологии микроэлектроники / Ю. Д. Чистяков, Ю. П. Райнова. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 392 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 386-389. - ISBN 978-5-9963-0335-9 : 330.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: счз1 (3 экз.), аунл (42 экз.)
Свободны: счз1 (3), аунл (42)
Постоянная гиперссылка
13.
621.384
У 515


   
    Ультрафиолетовые и вакуумно-ультрафиолетовые эксилампы: физика, техника и применения [Текст] : монография / А. М. Бойченко [и др.] ; рец.: А. В. Козырев, Г. С. Евтушенко ; ред.: С. В. Алексеев, Ю. А. Алексеева ; Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (Томск), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : STT, 2011. - 512 с. : рис., табл. - Библиогр. в конце глав. - ISBN 978-5-93629-4 : 21.70 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.)
Свободны: счз1 (1)
Постоянная гиперссылка
14.
621.382
С 370


    Сим, Павел Евгеньевич.
    Исследование омических контактов НЕМТ транзисторов на основе GaN [Текст] : диссертация ... кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника / П. Е. Сим ; науч. рук. П. Е. Троян ; науч. конс. В. Н. Брудный ; ФГБОУ ВО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, ФГАОУ ВО "Нацианальный исследовательский Томский государственный университет" (Томск), АО "Научно-производственная фирма "Микран" (Томск). - Томск, 2018. - 112 с. : граф., цв. ил., рис. - Библиогр.: с. 102-110

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: сбо (1 экз.)
Свободны: сбо (1)
Постоянная гиперссылка
15.
621.382
Т 384


    Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем [Текст] : учебное пособие для вузов: в 2 ч. / ред. Ю. А. Чаплыгин. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010 - . - (Электроника). - ISBN 978-5-94774-583-2.
   Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 397 с. : ил. - ). - Библиогр.: с. 397. - ISBN 978-5-94774-336-4 : 242.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: счз1 (2 экз.), аунл (7 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (6)
Постоянная гиперссылка
16.


    Николаенко, В. С.
    Метод определения среднего размера частиц по их голограмме [Текст] : доклад / В. С. Николаенко // Научная сессия ТУСУР-2011. - Томск : В-Спектр. - Ч. 1. - С. 295-297 : ил. - Библиогр. в конце ст.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Полный текст/внешний ресурс   (постраничный просмотр) : 2011_nikolaenko_010611.pdf или скачать 

Постоянная гиперссылка
17.
621.382
Ч-683


    Чистоедова, Инна Анатольевна.
    Современные микро- и нанотехнологии [Текст] : учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника" / И. А. Чистоедова ; рец.: А. В. Мостовщиков, А. П. Коханенко ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2022. - 56 с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 50-51. - ISBN 978-5-86889-976-8 : 788.21 р., 788.27 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (24 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (24)
Постоянная гиперссылка
18.
621.38
Ч-602


    Чикин, Евгений Владимирович.
    Физико-химические основы технологии электронных систем [Электронный ресурс] : учебное пособие / Е. В. Чикин ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск), Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга. - Электрон. текстовые дан. - Томск : [б. и.], 2006. - on-line, 209 с. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Перейти к внешнему ресурсу http://edu.tusur.ru/training/publications/1130
Постоянная гиперссылка
19.
54
С 329


    Серова, Валентина Николаевна.
    Фотохимия [Электронный ресурс] : учебное пособие для вузов / В. Н. Серова ; рец.: А. И. Фишман, В. Ф. Строганов. - Электрон. текстовые дан. - М. : Юрайт, 2021. - on-line : рис., табл., схемы. - (Высшее образование). - Библиогр.: с. 156-157. - ISBN 978-5-534-14022-4 : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
Перейти к внешнему ресурсу https://urait.ru/viewer/fotohimiya-467478#page/1
Постоянная гиперссылка
20.
Шифр: И643213/2010/7
   Журнал

Измерительная техника : научно-технический журнал/ Комитет стандартизации и метрологии Российской Федерации (М.), Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (М.), Всероссийский научно-исследовательский институт метрологии им. Д. И. Менделеева (М.), Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений (М.), Всероссийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений (М.), Российский научно-технический центр информации по стандартизации, метрологии и оценке соответствия (М.). - М., 1939 - . - ISSN 0368-1025. - Выходит ежемесячно
2010г. N 7
Содержание:
Фельдман, Г. Г. Генератор временных интервалов на основе эталона Фабри-Перо / Г. Г. Фельдман, А. Б. Берлизов, М. А. Карпов
Кл.слова: лазеры, лазерные пучки, интерферометры
Демченко, А. А. Использование многокадровых электронно-оптических камер для измерения скоростей перемещения / А. А. Демченко, В. Б. Лебедев, Г. Г. Фельдман
Кл.слова: фотографические методы, скорость измерений, погрешности
Абдрахманов, К. Ш. Установка для измерений параметров качества короткоимпульсного лазерного пучка / К. Ш. Абдрахманов, М. В. Улановский
Кл.слова: расходимость, лазерные системы, погрешности
Хлевной, Б. Б. Международные сличения CCPR-S1 единиц спектральной плотности энергетической яркости в диапазоне длин волн 220-2500 нм / Б. Б. Хлевной, В. И. Саприцкий, С. С. Колесникова
Кл.слова: ленточные лампы, радиометрия
Морозова, С. П. Монохроматический источник излучения для калибровки аппаратуры наблюдения Земли по относительной спектральной чувствительности / С. П. Морозова, Б. Е. Лисянский, Н. А. Парфентьев
Кл.слова: излучатели, длина волны, изображения
Аневский, С. И. Разработка и исследование измерительного комплекса энергетической яркости в области вакуумного и ближнего ультрафиолета на основе ПЗС-матриц / С. И. Аневский, Б. С. Волков, И. В. Дробков
Кл.слова: нанолитография, спектрорадиометрия, лазерная плазма
Золотаревский, Ю. М. Использование синхротронного излучения для исследования многослойных наноструктур / Ю. М. Золотаревский, С. И. Аневский, В. С. Иванов
Кл.слова: наноэлектроника, фотолитография, пленки
Минаев, В. Л. Влияние эффекта изменения фазы отраженной волны на измерения формы поверхности в оптической профилометрии / В. Л. Минаев, К. Е. Лощилов
Кл.слова: сканирующий микроскоп, микроскопия, автоматизация
Левин, Г. Г. Определение наноперемещений объекта по оптическому фазовому изображению / Г. Г. Левин, Я. А. Илюшин, В. Л. Минаев
Кл.слова: микроскопия, интерференция, наноперемещение
Глазов, А. И. Метрологическое обеспечение измерений параметров волоконно-оптических систем передачи информации / А. И. Глазов, В. С. Иванов, В. Е. Кравцов
Кл.слова: эталоны, поверочная схема, излучения
Зайцев, Д. Ф. Проблемы метрологического обеспечения измерений параметров оптических сигналов и устройств в радиолокационных системах аналоговой нанофотоники / Д. Ф. Зайцев, В. Н. Крутиков, К. Ю. Сахаров
Кл.слова: антенные решетки, сигналы, приемопередающие модули
Тихомиров, С. В. Эталонный комплекс сверхкоротких электромагнитных импульсов с длительностью фронта 20 пс / С. В. Тихомиров, К. Ю. Сахаров, О. В. Михеев
Кл.слова: преобразователи, передача информации, воспроизведение
Григорьев, В. В. Эталонная аппаратура для средств измерений поляризационной модовой дисперсии в волоконно-оптических системах передачи информации / В. В. Григорьев, В. Е. Кравцов, А. К. Митюрев
Кл.слова: анализаторы, оптический импульс, эталонный измеритель
Сахаров, К. Ю. Исследование неопределенности воспроизведения единиц напряженностей импульсных электрического и магнитного полей в эталонном комплексе сверхкоротких электромагнитных импульсов с длительностью фронта 20 пс / К. Ю. Сахаров, О. В. Михеев, В. А. Туркин
Кл.слова: импульсы, напряжение, генераторы
Маленков, И. В. Применение кристаллофосфоров на основе редкоземельных элементов для определения спектрального разрешения и калибровки шкалы длин волн люминесцентных спектрометров / И. В. Маленков
Кл.слова: люминесценция, кристаллофосфор, спектр возбуждения
Муравская, Н. П. Оптико-физические измерения в химической физике, физической химии и нанохимии / Н. П. Муравская, В. М. Лахов, С. А. Кайдалов
Кл.слова: фотоэлектронные приборы, электровакуумные приборы, спектральные измерения
Имеются экземпляры в отделах: всего 1 : сбо (1)
Свободны: сбо (1)

Постоянная гиперссылка
 1-20    21-22 
 
Статистика
за 01.07.2024
Число запросов 196536
Число заказов 0
© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)