~РУБ 621.38
Кл.слова (ненормированные): УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ --
ДИСТАНЦИОННОЕ ОБРАЗОВАНИЕ --
ПОЛУПРОВОДНИКИ --
ПОВЕРХНОСТНЫЕ ЯВЛЕНИЯ --
ДИФФУЗИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ --
ОЧИСТКА ПОВЕРХНОСТЕЙ --
ТРАВЛЕНИЕ --
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ --
ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ --
ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК --
ИОННАЯ БОМБАРДИРОВКА --
ФОТОЛИТОГРАФИЯ --
ЛИТОГРАФИЯ
Доп.точки доступа: Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)
Кафедра радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга
Основная база библиотеки
Стандартный