Библиотека ТУСУРа

Базы данных

Основная база библиотеки - результаты поиска

Вид поиска

Основная база библиотеки

База данных нормативных документов

Персоналии ученых-профессоров ТУСУРа

Календарь знаменательных дат

Электронные книги ЛитРес

ЭБС «Лань»

ЭБС «Юрайт»

Область поиска

в найденном

Формат представления найденных документов:
полный	для рабочих программ

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ<.>)

Общее количество найденных документов : 11
Показаны документы с 1 по 10

1-10 11-11

1.

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Современные технологии микро- и наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, И. А. Чистоедова ; рец.: В. П. Кривобоков, Е. В. Шестериков ; Минобрнауки России (М.), Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : Издательство ТУСУРа, 2020. - 340 с. : граф., ил., цв. ил., табл. - Библиогр.: с. 334-337. - ISBN 978-5-86889-903-4 : 135.04 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382-022.532(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- МОП-ТРАНЗИСТОРЫ -- МАСШТАБИРОВАНИЕ -- СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ -- МЕТАЛЛЫ -- ДИЭЛЕКТРИКИ -- ПЛАНАРИЗАЦИЯ РЕЛЬЕФА -- КРЕМНИЙ -- МЕЖУРОВНЕВАЯ РАЗВОДКА -- СИСТЕМЫ НА КРИСТАЛЛЕ
Доп.точки доступа:
Чистоедова, Инна Анатольевна
Кривобоков, В. П. \рец.\
Шестериков, Е. В. \рец.\
Минобрнауки России (М.)
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (1 экз.), аунл (46 экз.)
Свободны: счз1 (1), аунл (24)
Постоянная гиперссылка

2.

621.38
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - 2-е изд. - Томск : ТУСУР, 2015. - 319 с : рис., цв. ил., табл. - Библиогр.: с. 317-318. - ISBN 978-5-86889-713-9 : 190.00 р., 200.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.38-022.532:620.3(075.8)
~РУБ 621.38

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- МУРА ЗАКОН -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ -- СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ПОЛУПРОВОДНИКИ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ -- ДИЭЛЕКТРИКИ
Доп.точки доступа:
Кагадей, Валерий Алексеевич
Анищенко, Екатерина Валентиновна
Министерство образования и науки Российской Федерации
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , счз1 (2 экз.), аунл (29 экз.)
Свободны: счз1 (2), аунл (21)
Постоянная гиперссылка

3.

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технологии кремниевой наноэлектроники [Текст] : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей, Е. В. Анищенко ; Министерство образования и науки РФ, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники. - Томск : В-Спектр, 2011. - 262 с. : ил. - (Образовательная программа переподготовки). - Библиогр.: с. 260-261. - ISBN 978-5-91191-203-1 : 300.00 р., 21.66 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА -- ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ -- ГЕТТЕРИРОВАНИЕ -- ПАССИВАЦИЯ -- СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛОВ -- ПЛАНАРИЗАЦИЯ РЕЛЬЕФА -- FEOL -- BEOL
Доп.точки доступа:
Кагадей, Валерий Алексеевич
Анищенко, Екатерина Валентиновна
Министерство образования и науки РФ
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (2 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (1), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

4.

539.2
Л 385


    Легирование полупроводников ионным внедрением : Сборник статей: перевод / ред. пер. : В. С. Вавилов, В. М. Гусев. - М. : Мир, 1971. - 531[1] с. : ил. - Библиогр. в конце разд. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.315.592.002
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- легирование полупроводников -- ионное легирование
Доп.точки доступа:
Вавилов, Виктор Сергеевич \ред. пер.\
Гусев, В. М. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (3 экз.)
Свободны: аунл (3)
Постоянная гиперссылка

5.

539.2
Т 384


    Технология ионного легирования : Пер. с яп. / ред. : С. Намба ; пер. : В. Ф. Овчаров ; ред. пер. : П. В. Павлов. - М. : Советское радио, 1974. - 157[3] с. : рис., табл. - Библиогр.: с. 140-156. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
539.2
621.315.592
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
легирование -- ионное легирование
Доп.точки доступа:
Намба, С. \ред.\
Овчаров, В. Ф. \пер.\
Павлов, П. В. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.)
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

6.

539.2
З-862

    Зорин, Евгений Иванович.
    Ионное легирование полупроводников / Е. И. Зорин, П. В. Павлов, Д. И. Тетельбаум. - М. : Энергия, 1975. - 127[2] с. : ил., табл. - (Библиотека радиотехнолога ; вып. 6). - Библиогр.: с. 120-128. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.315.592.002
621.382.3.002
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- ионное легирование -- физические основы
Доп.точки доступа:
Павлов, Павел Васильевич
Тетельбаум, Давид Исаакович

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.)
Свободны: аунл (2)
Постоянная гиперссылка

7.

621.382
П 845


    Процессы микро- и нанотехнологии : учебное пособие для вузов / Т. И. Данилина [и др.] ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск). - Томск : ТУСУР, 2005. - 316 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 310-313. - ISBN 5-86889-244-5 : 300.00 р., 250.00 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.77.002(075.8)
62-181.48(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ДИФФУЗИЯ -- ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ -- ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ -- ТЕРМИЧЕСКОЕ ОКИСЛЕНИЕ -- ОСАЖДЕНИЕ ПЛЕНОК -- МЕТАЛЛИЗАЦИИ -- ИОННО-ПЛАЗМЕННАЯ ОБРАБОТКА -- ЛИТОГРАФИЯ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ЭПИТАКСИЛЬНЫЕ НАНОТЕХНОЛОГИИ -- ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Доп.точки доступа:
Данилина, Тамара Ивановна
Смирнова, Клара Ивановна
Илюшин, Владимир Александрович
Величко, Александр Андреевич
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники (Томск)

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (99 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (74), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

8.

539.2
М 451

    Мейер, Дж.
    Ионное легирование полупроводников. (Кремний и германий) : Пер. с англ. / Дж. Мейер, Л. Эриксон, Дж. Дэвис ; ред. пер. : В. М. Гусев. - М. : Мир, 1973. - 296 с. : ил., табл., фото. - Библиогр.: с. 288-296. - Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
537.311.3
621.315.592.002
~РУБ 539.2

Кл.слова (ненормированные):
полупроводники -- ионное легирование -- кремний -- германий
Доп.точки доступа:
Эриксон, Л.
Дэвис, Дж.
Гусев, В. М. \ред. пер.\

Имеются экземпляры в отделах: аунл (2 экз.), счз1
Свободны: аунл (1)
Постоянная гиперссылка

9.

621.3
И498

    Илюшкин, В. А.
    Разработка и исследование ионно-оптических систем с высокочастотной фильтрацией : Диссертация представлена на соиск. уч. ст. канд. техн. наук / В. А. Илюшкин; Науч.рук. Д. А. Носков ; Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР, Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники. - Томск : [б. и.], 1978. - 185 с. : ил. - (в пер.) : Б. ц.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.3.032.26
537.534.3](043.3)
~РУБ 621.3

Кл.слова (ненормированные):
ионно-лучевые установки -- ионно-лучевая технология -- ионное легирование -- ионные пучки -- диссертации -- ионно-оптические системы -- высокочастотная фильтрация
Доп.точки доступа:
Носков, Д. А. \науч.рук.\
Томский институт автоматизированных систем управления и радиоэлектроники
Министерство высшего и среднего специального образования РСФСР

Имеются экземпляры в отделах: сбо (2 экз.)
Свободны: сбо (2)
Постоянная гиперссылка

10.

621.382
Д 182

    Данилина, Тамара Ивановна.
    Технология СБИС : учебное пособие / Т. И. Данилина, В. А. Кагадей ; Федеральное агентство по образованию, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Кафедра физической электроники. - Томск : ТУСУР, 2007. - 287 с. : ил., табл. - Библиогр.: с. 286-287. - 125.52 р.

    Коды, Ключ.слова, Доп.точки доступа
УДК
621.382.049.771.14.002(075.8)
~РУБ 621.382

Кл.слова (ненормированные):
учебные пособия -- микроэлектроника -- технология -- СБИС -- ультрабольшие интегральные микросхемы -- полупроводниковые подложки -- субмикронная литография -- ионное легирование -- термический отжиг -- ионное травление -- плазмохимическое травление -- осаждение пленок -- планаризация рельефа -- межсоединения -- межуровневая разводка
Доп.точки доступа:
Кагадей, В. А.
Федеральное агентство по образованию
Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Кафедра физической электроники

Имеются экземпляры в отделах: , аунл (48 экз.), счз1 (2 экз.)
Свободны: аунл (46), счз1 (2)
Постоянная гиперссылка

1-10 11-11

Стандартный

Расширенный

По словарю

Статистика за 18.06.2024
Число запросов	31025
Число заказов	0

© Международная Ассоциация пользователей и разработчиков электронных библиотек и новых информационных технологий
(Ассоциация ЭБНИТ)